EN
Сипаттама
KCE® Реакциялық силикон карбидтен жасалған консольды доңғалақтар/вентиляторлар, құю немесе 3D баспа әдісімен жасалып, реакциялық синтерлеуден өткізіледі, кейін сызба талаптарына сәйкес ашытқылау және дәлме-дәл механикалық өңдеуден өткізіледі, осылайша пайдалану талаптарына сай болады. Олар поликристаллдық немесе моно кремний пластинкаларының диффузиялық пештерде (диффузия) бетін покрытие жағу процесінде қолданылатын жартылай өткізгіштік пластинкаларды жүктеу жүйелерінің негізгі компоненттері болып табылады және жоғары температуралық ортада (1000-1300 ℃) кремний пластинкаларын тасымалдау мен тасымалдауда маңызды рөл атқарады. Негізгі сипаттамалары: 2378 мм, 2550 мм, 2660 мм және т.б.
Сәйкестіктер
KCE® SiSiC/RBSiC техникалық деректер парағы
| Техникалық параметрлер | Бірлік | Мәні |
| Кремний карбидінің мөлшері | % | 85 |
| Бос кремний мөлшері | % | 15 |
| Көлемдік тығыздық 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Ашық құрғақтық | Көлем % | 0 |
| Қаттылық HK | кг/мм² | 2600 |
| Иілу беріктігі 20°C | Мпа | 250 |
| Иілу беріктігі 1200°C | Мпа | 280 |
| 20 – 1000°C (Жылу кеңею коэффициенті) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Жылу өткізгіштік 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статикалық 20°C (Созылу модулі) | ГПа | 330 |
| Жұмыс температурасы | °C | 1300 |
| Макс. пайдалану темп. (ауа) | °C | 1380 |
Қолданбалар
Реакциялық синтерленген силикон карбидтен жасалған консольды доңғалақтар/вентиляторлар жартылай өткізгіштік пластинкаларды жүктеу жүйесінің негізгі компоненттері болып табылады.
Артықшылықтар
Кремний карбидінен жасалған көтергіш қанаттар/вентиляторлар тұрақты өнімділікке ие, жоғары температуралық ортада деформацияланбайды, пластинкаларды көп жүктеуге мүмкіндік береді, тез суытуға және қыздыруға төзімді, жылулық кеңею коэффициенті аз және ұзақ қызмет ету мерзіміне ие.
Ең жоғары жұмыс істеу температурасы 1380 ℃-ға жетеді; Төменгі жылулық кеңею; Өте жоғары жылулық соққы тұрақтылығы; Көтергіш қанат пен LPCVD қаптамасының жылулық кеңею коэффициенті ұқсас, олардың LPCVD-да қолданылуы техникалық қызмет көрсету мен тазалау циклын едәуір ұзартады және ластануды бірқатар дәрежеде төмендетеді.
