EN
Opis
Łopaty/propelery KCE® z reakcyjnie spiekanego węglika krzemu, formowane metodą odlewniczą lub druku 3D, następnie spiekane reakcyjnie, a potem piaskowane i precyzyjnie obrabiane zgodnie z wymaganiami rysunku, aby spełniać warunki użytkowania. Są kluczowymi elementami systemów załadunkowych płyt półprzewodnikowych, o głównych wymiarach: 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm itp. Stosowane są w procesie (dyfuzyjnym) powlekania wielokrystalicznych lub jednokrystalicznych waferów krzemowych w piecach dyfuzyjnych, pełniąc rolę nośnika i transportu waferów krzemowych w warunkach wysokich temperatur (1000–1300 ℃).
Specyfikacje
Karta danych technicznych KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametry techniczne | Jednostka | Wartość |
| Zawartość węglika krzemu | % | 85 |
| Zawartość wolnego krzemu | % | 15 |
| Gęstość objętościowa 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Otwarta porowatość | Vol % | 0 |
| Twardość HK | kg/mm² | 2600 |
| Wytrzymałość na zginanie 20°C | MPa | 250 |
| Wytrzymałość na zginanie 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Współczynnik rozszerzalności cieplnej) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Przewodność cieplna 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statyczny 20°C (moduł sprężystości) | GPA | 330 |
| Temperatura pracy | °C | 1300 |
| Maks. temperatura pracy (powietrze) | °C | 1380 |
Zastosowania
Łopaty/propelery z reakcyjnie spiekanego węglika krzemu są kluczowymi elementami systemu załadunkowego płyt półprzewodnikowych.
Zalety
Łopaty/śmigła z węglika krzemu mają stabilne parametry, nie ulegają odkształceniom w wysokich temperaturach, charakteryzują się dużą pojemnością ładunkową płytek, są odporne na szybkie schładzanie i nagrzewanie, mają mały współczynnik rozszerzalności cieplnej oraz długą żywotność.
Maksymalna temperatura pracy może osiągnąć 1380 ℃; Niska rozszerzalność cieplna; Wyjątkowo wysoka odporność na zmęczenie termiczne; Współczynnik rozszerzalności cieplnej łopaty konsoleowej i powłoki LPCVD jest podobny, a ich zastosowanie w LPCVD znacznie wydłuża cykl konserwacji i czyszczenia oraz istotnie redukuje zanieczyszczenia.
