EN
Paglalarawan
KCE® Reaction sintered silicon carbide cantilever paddles/propellers, hugis na gawa sa pamamagitan ng paghuhulma o 3D printing proseso, pinagsama-sama ang reaksyon, at pagkatapos ay pinakintab ng buhangin at tumpak na kinuha ayon sa mga detalye ng plano upang matugunan ang mga pangangailangan sa paggamit. Ito ang mahahalagang bahagi ng mga sistema ng pagkarga ng semiconductor wafer, na may pangunahing sukat na 2378mm, 2550mm, 2660mm, at iba pa. Ginagamit ito sa (diffusion) patong na proseso ng polycrystalline silicon wafers o monocrystalline silicon wafers sa mga diffusion furnaces, at gumaganap ng papel sa pagdadala at paglipat ng silicon wafers sa mataas na temperatura (1000-1300 ℃).
Mga Spesipikasyon
KCE® SiSiC/RBSiC Technical Data Sheet
| Mga teknikal na parameter | Yunit | Halaga |
| Nilalaman ng Silicon Carbide | % | 85 |
| Nilalaman ng Libreng Silicon | % | 15 |
| Densidad ng Bulk 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Buksan ang Porosity | Bolyum % | 0 |
| Hardness HK | kg/mm² | 2600 |
| Lakas ng Pagbaluktot 20°C | MPa | 250 |
| Lakas sa Pagkabali 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Koepisyente ng Thermal Expansion) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Thermal Conductivity 1000°C | W/m.k | 45 |
| Static 20°C (Modulus of Elasticity) | GPa | 330 |
| Temperatura ng trabaho | °C | 1300 |
| Max. Temperatura ng Paggamit (hangin) | °C | 1380 |
Mga Aplikasyon
Ang mga reaction sintered silicon carbide cantilever paddles/propeller ay mahahalagang bahagi ng sistema ng paglo-load ng semiconductor wafer.
Mga Bentahe
Ang mga silicon carbide cantilever paddles/propeller ay may matatag na pagganap, hindi umuusli sa mataas na temperatura, may malaking kapasidad sa paglo-load ng wafer, lumalaban sa mabilis na paglamig at pag-init, may maliit na koepisyent ng thermal expansion, at may mahabang buhay ng serbisyo.
Ang pinakamataas na temperatura ng operasyon ay maabot ang 1380 ℃; Mababa ang thermal expansion; Napakalakas na katatagan laban sa thermal shock; Katulad ang thermal expansion coefficient ng cantilever propeller at ng LPCVD coating, at ang kanilang aplikasyon sa LPCVD ay nagpapahaba nang malaki sa maintenance at cleaning cycle at nagbabawas nang malaki sa mga polusyon.
