EN
Опис
Консольні лопаті/гвинти KCE® із реакційно-спеченої карбід кремнію, виготовлені литтям або методом 3D-друку, після чого піддаються реакційному спіканню, обробці піскоструменевим способом та прецизійній механічній обробці згідно з вимогами креслення для відповідності експлуатаційним вимогам. Це ключові компоненти систем завантаження напівпровідникових пластин, основні розміри — 2378 мм, 2550 мм, 2660 мм тощо. Використовуються на етапі (дифузійного) нанесення покриття полікристалічних або монокристалічних кремнієвих пластин у дифузійних печах, призначених для транспортування кремнієвих пластин у середовищі високих температур (1000–1300 °C).
Специфікації
KCE® SiSiC/RBSiC Технічний паспорт
| Технічні параметри | Одиниця | Значення |
| Вміст карбіду кремнію | % | 85 |
| Вміст вільного кремнію | % | 15 |
| Об'ємна густина 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Відкрита пористість | Об'ємн. % | 0 |
| Твердість HK | кг/мм² | 2600 |
| Міцність на згин при 20°C | Мпа | 250 |
| Міцність на згин при 1200°C | Мпа | 280 |
| 20 – 1000°C (коефіцієнт теплового розширення) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Теплопровідність при 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статичний 20°C (модуль пружності) | ГПа | 330 |
| Робоча температура | °C | 1300 |
| Макс. робоча температура (у повітрі) | °C | 1380 |
Застосування
Консольні лопаті/гвинти із реакційно-спеченої карбід кремнію є ключовими компонентами системи завантаження напівпровідникових пластин.
Переваги
Підйомні лопаті/пропелери з карбіду кремнію мають стабільну продуктивність, не деформуються в умовах високих температур, мають велику вантажопідйомність для пластин, стійкі до швидкого охолодження та нагрівання, мають малий коефіцієнт теплового розширення і довгий термін служби.
Максимальна робоча температура може досягати 1380 ℃; низьке теплове розширення; надзвичайно висока стійкість до теплових ударів; коефіцієнт теплового розширення підйомного пропелера та покриття LPCVD подібний, і їх застосування у LPCVD значно подовжує цикл технічного обслуговування та очищення і суттєво зменшує забруднення.
