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Beschreibung
KCE® Reaktionssintertes Siliciumkarbid-Kragarm-Paddel/Propeller, hergestellt durch Gieß- oder 3D-Druckverfahren, reaktionssintert, anschließend sandgestrahlt und gemäß den Zeichnungsvorgaben präzisionsbearbeitet, um die Einsatzanforderungen zu erfüllen. Sie sind Schlüsselkomponenten von Halbleiter-Wafer-Ladesystemen mit Hauptabmessungen von 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm usw. Sie werden im (Diffusions-)Beschichtungsprozess von polykristallinen oder monokristallinen Siliciumwafern in Diffusionsöfen eingesetzt und übernehmen die Funktion des Tragens und Transports von Siliciumwafern in Hochtemperaturumgebungen (1000–1300 °C).
TECHNISCHE DATEN
KCE® SiSiC/RBSiC Technisches Datenblatt
| Technische Parameter | Einheit | Wert |
| Siliziumkarbid-Gehalt | % | 85 |
| Freier Silizium-Gehalt | % | 15 |
| Rohdichte bei 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Offene Porosität | Vol % | 0 |
| Härte HK | kg/mm² | 2600 |
| Biegefestigkeit 20°C | Mpa | 250 |
| Biegefestigkeit 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Wärmeausdehnungskoeffizient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Wärmeleitfähigkeit 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statisch 20°C (Elastizitätsmodul) | GPa | 330 |
| Betriebstemperatur | °C | 1300 |
| Max. Einsatztemperatur (Luft) | °C | 1380 |
Anwendungen
Reaktionssinterte Siliciumkarbid-Kragarm-Paddel/Propeller sind die Schlüsselkomponenten eines Halbleiter-Wafer-Ladesystems.
Vorteile
Siliziumkarbid-Auslegerpaddel/Propeller weisen eine stabile Leistung auf, verformen sich nicht in Hochtemperaturumgebungen, haben eine hohe Wafer-Ladekapazität, sind beständig gegen schnelle Abkühlung und Erwärmung, weisen einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf und haben eine lange Lebensdauer.
Die maximale Betriebstemperatur kann 1380 ℃ erreichen; Geringe Wärmeausdehnung; äußerst starke Beständigkeit gegen thermische Schocks; Der Wärmeausdehnungskoeffizient von Auslegerpropeller und LPCVD-Beschichtung ist ähnlich, und ihre Anwendung in LPCVD verlängert den Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich und reduziert Schadstoffe deutlich.
