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설명
KCE® 반응 소결 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들/프로펠러는 주조 또는 3D 프린팅 공정을 통해 성형되고, 반응 소결된 후 도면 요구사항에 따라 샌드블라스팅 및 정밀 가공하여 사용 조건을 충족시킵니다. 이 제품은 반도체 웨이퍼 로딩 시스템의 핵심 구성 요소이며, 주요 사양은 2378mm, 2550mm, 2660mm 등입니다. 다결정 실리콘 웨이퍼 또는 단결정 실리콘 웨이퍼의 확산로 내 (확산) 코팅 공정에 사용되며, 고온 환경(1000-1300℃)에서 실리콘 웨이퍼를 지지하고 운반하는 역할을 합니다.
제품 사양
KCE® SiSiC/RBSiC 기술 데이터 시트
| 기술 파라미터 | UNIT | 값 |
| 탄화규소 함량 | % | 85 |
| 자유 규소 함량 | % | 15 |
| 20°C 체적 밀도 | g/cm³ | ≥3.02 |
| 개기공률 | 부피 % | 0 |
| 경도 HK | kg/mm² | 2600 |
| 휨강도 20°C | Mpa | 250 |
| 휨강도 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (열팽창 계수) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| 열전도도 1000°C | W/m.k | 45 |
| 정적 20°C (탄성 계수) | GPa | 330 |
| 작동 온도 | °C | 1300 |
| 최대 사용 온도(공기 중) | °C | 1380 |
응용 분야
반응 소결 실리콘 카바이드 캔틸레버 패들/프로펠러는 반도체 웨이퍼 로딩 시스템의 핵심 구성 요소입니다.
장점
실리콘 카바이드 캔틸레버 패들/프로펠러는 성능이 안정적이며 고온 환경에서 변형되지 않고 웨이퍼 적재 용량이 크며 급속 냉각 및 가열에 강하며 열팽창 계수가 작고 수명이 깁니다.
최대 작동 온도는 1380℃에 도달할 수 있으며, 열팽창이 낮고, 열충격 안정성이 매우 뛰어납니다. 캔틸레버 프로펠러와 LPCVD 코팅의 열팽창 계수가 유사하여 LPCVD 응용 시 유지보수 및 청소 주기를 크게 연장시키고 오염물질을 현저히 줄입니다.
