EN
คำอธิบาย
ใบพัด/ใบสกรูเซอร์โคเนียมคาร์ไบด์แบบรีแอคชันซินเตอร์ KCE® ที่ผลิตโดยกระบวนการหล่อหรือการพิมพ์ 3 มิติ จากนั้นทำกระบวนการรีแอคชันซินเตอร์ แล้วขัดผิวด้วยทรายและกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำตามข้อกำหนดของแบบเพื่อให้ตรงตามความต้องการในการใช้งาน ชิ้นส่วนเหล่านี้เป็นองค์ประกอบสำคัญของระบบโหลดแผ่นเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีข้อกำหนดหลักๆ เช่น 2378 มม., 2550 มม., 2660 มม. เป็นต้น ใช้ในกระบวนการเคลือบ (diffusion) ของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนแบบโพลีคริสตัลลินหรือโมโนคริสตัลลินภายในเตา diffusion และทำหน้าที่ในการยกและลำเลียงแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง (1000-1300 ℃)
สเปก
แผ่นข้อมูลทางเทคนิค KCE® SiSiC/RBSiC
| ข้อมูลทางเทคนิค | หน่วย | ค่า |
| ปริมาณคาร์ไบด์ซิลิคอน | % | 85 |
| ปริมาณซิลิคอนอิสระ | % | 15 |
| ความหนาแน่นรวมที่ 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ความพรุนเปิด | ปริมาณร้อยละ | 0 |
| ความแข็ง HK | กิโลกรัม/มิลลิเมตร² | 2600 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 20°C | เอ็มพีเอ | 250 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 1200°C | เอ็มพีเอ | 280 |
| 20 – 1000°C (สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อน) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| การนำความร้อนที่ 1000°C | W/m.k | 45 |
| ค่าโมดูลัสยืดหยุ่นแบบสถิตที่ 20°C | GPa | 330 |
| อุณหภูมิในการทำงาน | °C | 1300 |
| อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน (อากาศ) | °C | 1380 |
Applications
ใบพัด/ใบสกรูเซอร์โคเนียมคาร์ไบด์แบบรีแอคชันซินเตอร์เป็นองค์ประกอบสำคัญของระบบโหลดแผ่นเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ข้อดี
ใบพัดหรือใบพโรเพลเลอร์แบบคานยื่นจากซิลิคอนคาร์ไบด์มีสมรรถนะที่เสถียร ไม่บิดงอในสภาวะอุณหภูมิสูง มีความสามารถในการรองรับเวเฟอร์ได้มาก ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วทั้งการระบายความร้อนและการให้ความร้อน มีสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ และมีอายุการใช้งานยาวนาน
อุณหภูมิการทำงานสูงสุดสามารถสูงได้ถึง 1380 ℃; การขยายตัวจากความร้อนต่ำ; มีความคงตัวต่อแรงกระแทกจากความร้อนอย่างยิ่ง; สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนของใบพโรเพลเลอร์แบบคานยื่นและชั้นเคลือบ LPCVD มีค่าใกล้เคียงกัน และการประยุกต์ใช้งานในกระบวนการ LPCVD ช่วยยืดอายุรอบการบำรุงรักษาและการทำความสะอาดออกไปอย่างมาก รวมทั้งลดมลสารได้อย่างมีนัยสำคัญ
