EN
বর্ণনা
KCE® রিঅ্যাকশন-সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল/প্রোপেলার, যা ঢালাই বা 3D প্রিন্টিং পদ্ধতিতে তৈরি করা হয়, পরে রিঅ্যাকশন সিন্টারিং করা হয় এবং অতঃপর চিত্রের প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী বালি দিয়ে ব্লাস্ট করে এবং নির্ভুলতার সাথে মেশিন করে ব্যবহারের উপযোগী করা হয়। এগুলি অর্ধপরিবাহী ওয়েফার লোডিং সিস্টেমের মূখ্য উপাদান, যার মূল স্পেসিফিকেশনগুলি হল 2378mm, 2550mm, 2660mm ইত্যাদি। এটি ডিফিউশন চুলায় পলিক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফার বা মনোক্রিস্টালাইন সিলিকন ওয়েফারের (ডিফিউশন) কোটিং প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত হয় এবং উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে (1000-1300 ℃) সিলিকন ওয়েফার বহন ও পরিবহনের কাজে লাগে।
স্পেসিফিকেশন
KCE® SiSiC/RBSiC প্রযুক্তিগত তথ্য শীট
| টেকনিক্যাল প্যারামিটার | ইউনিট | মান |
| সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী | % | 85 |
| মুক্ত সিলিকন সামগ্রী | % | 15 |
| বাল্ক ঘনত্ব 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| খোলা ছিদ্রযুক্ততা | আয়তন % | 0 |
| কঠোরতা HK | কেজি/মিমি² | 2600 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 20°C | এমপিএ | 250 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 1200°C | এমপিএ | 280 |
| 20 – 1000°C (তাপীয় প্রসারণের সহগ) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| তাপ পরিবাহিতা 1000°C | ওয়াট/মি.কে | 45 |
| স্ট্যাটিক 20°C (ইলাস্টিসিটির মডুলাস) | GPa | 330 |
| কাজের তাপমাত্রা | °C | 1300 |
| সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা (বাতাস) | °C | 1380 |
অ্যাপ্লিকেশন
রিঅ্যাকশন-সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড ক্যান্টিলিভার প্যাডেল/প্রোপেলার হল অর্ধপরিবাহী ওয়েফার লোডিং সিস্টেমের মূখ্য উপাদান।
সুবিধা
সিলিকন কার্বাইডের ক্যান্টিলিভার প্যাডেল/প্রোপেলারগুলির স্থিতিশীল কর্মক্ষমতা রয়েছে, উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে এগুলি বিকৃত হয় না, ওয়েফার লোড করার ক্ষমতা বেশি, দ্রুত শীতল ও তাপ সহ্য করতে পারে, তাপীয় প্রসারণের গুণাঙ্ক কম এবং আয়ুষ্কাল দীর্ঘ।
সর্বোচ্চ কাজের তাপমাত্রা 1380 ℃ পর্যন্ত পৌঁছাতে পারে; কম তাপীয় প্রসারণ; অত্যন্ত শক্তিশালী তাপীয় আঘাত স্থিতিশীলতা; ক্যান্টিলিভার প্রোপেলার এবং LPCVD কোটিং-এর তাপীয় প্রসারণ গুণাঙ্ক প্রায় সমান, এবং LPCVD-এ এদের প্রয়োগ রক্ষণাবেক্ষণ ও পরিষ্কারের চক্রকে উল্লেখযোগ্যভাবে বাড়িয়ে দেয় এবং দূষকগুলি উল্লেখযোগ্যভাবে কমিয়ে দেয়।
