EN
Popis
KCE® reakčne spekané karbidy kremíka konzolové lopatky/propelery, vyrábané liatim alebo 3D tlačou, následne reakčne spekané a po sandblastingu presne opracované podľa požiadaviek výkresu, aby spĺňali prevádzkové požiadavky. Ide o kľúčové komponenty systémov na manipuláciu so polovodičovými platňami, s hlavnými špecifikáciami 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm atď. Používajú sa v procese (difúzie) povlakovania polykryštalických alebo monokryštalických kremíkových platní v difúznych peciach a majú za úlohu prenášať a transportovať kremíkové platne v prostredí vysokých teplôt (1000–1300 ℃).
Špecifikácie
KCE® SiSiC/RBSiC Technický údajový list
| Technické parametre | Jednotka | Hodnota |
| Obsah karbidu kremíka | % | 85 |
| Obsah voľného kremíka | % | 15 |
| Objemová hmotnosť pri 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otvorená pórozita | Vol % | 0 |
| Tvrdosť HK | kg/mm² | 2600 |
| Pevnosť v ohybe 20°C | MPa | 250 |
| Pevnosť v ohybe 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Súčiniteľ tepelnej rozťažnosti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Tepelná vodivosť 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statické 20°C (Modul pružnosti) | GPa | 330 |
| Pracovná teplota | °C | 1300 |
| Max. prevádzková teplota (vzduch) | °C | 1380 |
Aplikácie
Reakčne spekané karbidy kremíka konzolové lopatky/propelery sú kľúčovými komponentmi systému na manipuláciu so polovodičovými platňami.
Výhody
Silikónkarbidové konzolové lopatky/vrtule majú stabilný výkon, pri vysokých teplotách sa nedeformujú, majú veľkú nosnosť pre platne, sú odolné voči rýchlemu chladeniu a ohrevu, majú malý koeficient tepelnej rozťažnosti a dlhú životnosť.
Maximálna prevádzková teplota môže dosiahnuť 1380 ℃; Nízka tepelná rozťažnosť; Extrémne vysoká odolnosť proti tepelnému šoku; Koeficient tepelnej rozťažnosti konzolovej vrtule a LPCVD povlaku je podobný, a ich použitie v LPCVD výrazne predlžuje údržbové a čistiace cykly a výrazne znižuje znečisťujúce látky.
