EN
Kirjeldus
KCE® reaktsioonisinterdatud räni karbiidi konsolnoole/propellerid, mis on valmistatud valamise või 3D-trüki teel, seejärel reaktsioonisinterdatud ning puhastatud liivapihustusega ja täppisvormitud jooniste nõuetele vastavaks kasutusotstarbeks. Need on pooljuhtplaatide laadimissüsteemide olulised komponendid, mille peamised spetsifikatsioonid on 2378 mm, 2550 mm, 2660 mm jne. Neid kasutatakse (difusiooni) katteprotsessis polükristallsete või monokristallsete räniplaatide puhul difusioonipõletites, kus need kannavad ja transpordivad räniplaate kõrgetemperatuurilistes keskkondades (1000–1300 ℃).
Spetsifikatsioonid
KCE® SiSiC/RBSiC Tehniline andmekaart
| Tehnilised parameetrid | Ühik | Väärtus |
| Räni karbiidi sisaldus | % | 85 |
| Vaba räni sisaldus | % | 15 |
| Pakkumistihe 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Avatud poorseis | Vol % | 0 |
| Kõvadus HK | kg/mm² | 2600 |
| Plii tugevus 20°C | MPa | 250 |
| Plii tugevus 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (soojalaienemise kordaja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Soojusjuhtivus 1000°C | W/m.K | 45 |
| Staatiline 20°C (Elastsuse moodul) | GPa | 330 |
| Töötemperatuur | °C | 1300 |
| Max. töötemperatuur (õhu korral) | °C | 1380 |
Rakendused
Reaktsioonisinterdatud räni karbiidi konsolnoole/propellerid on pooljuhtplaatide laadimissüsteemi olulised komponendid.
Eelised
Tseeloonkarbiidist konsolnoolelised paadid/propellerid omavad stabiilset toimivust, ei deformatsioonu kõrgete temperatuuride korral, suudavad kanda suurt ketast, on vastupidavad kiirele jahutamisele ja kuumutamisele, neil on väike termiline laienduskoefitsient ja pikk kasutusiga.
Maksimaalne töötemperatuur võib ulatuda 1380 ℃; Madal termiline laiendus; Erakordselt tugev termiline löökstabiilsus; Konsolpropelleri ja LPCVD-poksu termiline laienduskoefitsient on sarnane, nende kasutamine LPCVD-s pikendab märgatavalt hooldus- ja puhastusperioodi ning vähendab oluliselt saasteaineid.
