EN
توضیح
پره‌ها/پروانه‌های معلق کاربید سیلیسیم سینترشده با روش واکنشی KCE®، که از طریق فرآیند ریخته‌گری یا چاپ سه‌بعدی شکل گرفته‌اند، سپس به روش واکنشی سینتر شده و مطابق با الزامات نقشه، با برس زدن با شن و ماشین‌کاری دقیق پرداخت می‌شوند تا نیازهای عملکردی را برآورده کنند. این قطعات از اجزای کلیدی سیستم‌های بارگیری ویفرهای نیمه‌هادی هستند و دارای مشخصات اصلی 2378 میلی‌متر، 2550 میلی‌متر، 2660 میلی‌متر و غیره می‌باشند. این محصول در فرآیند (دیفیوژن) پوشش‌دهی ویفرهای پلی‌کریستالین سیلیسیم یا ویفرهای سیلیسیم تک‌بلور در کوره‌های دیفیوژن استفاده می‌شود و در محیط‌های دمای بالا (1000 تا 1300 درجه سانتی‌گراد) نقش حمل و نقل ویفرهای سیلیسیم را ایفا می‌کند.
مشخصات
برگه داده‌های فنی KCE® SiSiC/RBSiC
| پارامترهای فنی | واحد | ارزش |
| درصد کاربید سیلیسیم | % | 85 |
| درصد سیلیسیم آزاد | % | 15 |
| چگالی توده‌ای در 20°C | گرم بر سانتی‌متر مکعب | ≥3.02 |
| تخلخل باز | درصد حجمی | 0 |
| سختی HK | کیلوگرم/میلی‌متر مربع | 2600 |
| استحکام خمشی 20°C | مگاپاسکال | 250 |
| استحکام خمشی 1200°C | مگاپاسکال | 280 |
| 20 – 1000°C (ضریب انبساط حرارتی) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| هادی حرارتی 1000°C | وات/متر.کلوین | 45 |
| استاتیک 20°C (مدولار الاستیسیته) | گیگاپاسکال | 330 |
| دمای کاری | درجه سانتی گراد | 1300 |
| حداکثر دمای کاری (هوا) | درجه سانتی گراد | 1380 |
کاربردها
پره‌های معلق کاربید سیلیسیم سینترشده با روش واکنشی، از اجزای کلیدی سیستم بارگیری ویفرهای نیمه‌هادی هستند.
مزایا
پره‌ها/پروانه‌های مکانیکی کاربید سیلیسیوم عملکرد پایداری دارند، در محیط‌های با دمای بالا تغییر شکل نمی‌دهند، ظرفیت بارگیری ویفر بالایی دارند، در برابر سرد و گرم شدن سریع مقاوم هستند، ضریب انبساط حرارتی کمی دارند و عمر مفید طولانی‌ای دارند.
دمای حداکثری کارکرد می‌تواند به 1380 ℃ برسد؛ انبساط حرارتی کم؛ پایداری بسیار قوی در برابر شوک حرارتی؛ ضریب انبساط حرارتی پروانه مکانیکی و پوشش LPCVD مشابه است و استفاده آن‌ها در LPCVD چرخه تعمیر و نگهداری و تمیزکاری را به‌طور قابل توجهی افزایش داده و آلاینده‌ها را به‌طور چشمگیری کاهش می‌دهد.
