EN
توضیح
حامل‌ها و سینی‌های کاربید سیلیسیوم با فرآیندهایی مانند پرس کOLD isostatic، ریخته‌گری یا چاپ سه بعدی شکل داده شده و در دمای بالا سینتر می‌شوند. همچنین امکان انجام ماشین‌کاری دقیق روی قطر خارجی، ابعاد ضخامت، تعداد و اندازه نقاط آکوپونکچر، موقعیت و شکل شیار برش بر اساس نقشه‌های طراحی کاربر برای تأمین نیازهای خاص استفاده وجود دارد.
در فرآیندهای تولید نیمههادی، حامل‌های ویفر مصارف اصلی در محیط‌های با دمای بالا و بسیار خورنده محسوب می‌شوند و عملکرد آن‌ها به طور مستقیم بر بازده و هزینه فرآیند تأثیر می‌گذارد. در سال‌های اخیر، حامل‌های/ظرف‌های سرامیکی کاربید سیلیسیوم (SiC) به دلیل خواص منحصر به فرد مواد اولیه، به تدریج جایگزین حامل‌های مبتنی بر گرافیت سنتی شده‌اند و به ماده پشتیبانی کلیدی در تولید ال‌ای‌دی‌های با روشنایی بالا، نیمه‌هادی‌های ترکیبی و دستگاه‌های قدرت تبدیل شده‌اند.
ظرف حامل SiC یک قطعه ساختاری دقیق است که از سرامیک‌های کاربید سیلیسیوم به عنوان ماده اصلی آن ساخته شده است. با داشتن عملکرد عالی سرامیک‌های کاربید سیلیسیوم، این ظرف نقش کلیدی در حمل، موقعیت‌یابی، انتقال حرارت و محافظت در زمینه‌های تولید پیشرفته مانند نیمههادی، فتوولتائیک و آماده‌سازی مواد جدید ایفا می‌کند و یکی از اجزای اصلی برای تضمین پایداری فرآیند و بازده محصول محسوب می‌شود.
مشخصات
برگه داده فنی KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC
| پارامترهای فنی | واحد | مقدار SiSiC/RBSiC | مقدار SSiC |
| درصد کاربید سیلیسیم | % | 85 | 99 |
| درصد سیلیسیم آزاد | % | 15 | 0 |
| چگالی توده‌ای در 20°C | گرم بر سانتی‌متر مکعب | ≥3.02 | ≥3.10 |
| تخلخل باز | درصد حجمی | 0 | 0 |
| سختی HK | کیلوگرم/میلی‌متر مربع | 2600 | 2800 |
| استحکام خمشی 20°C | مگاپاسکال | 250 | 380 |
| استحکام خمشی 1200°C | مگاپاسکال | 280 | 400 |
| 20 – 1000°C (ضریب انبساط حرارتی) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| هادی حرارتی 1000°C | وات/متر.کلوین | 45 | 74 |
| استاتیک 20°C (مدولار الاستیسیته) | گیگاپاسکال | 330 | 420 |
| دمای کاری | درجه سانتی گراد | 1300 | 1600 |
| حداکثر دمای کاری (هوا) | درجه سانتی گراد | 1380 | 1680 |
کاربردها
به ویژه مناسب برای قطعات ساختاری سرامیکی دقیق که در فرآیندهای خراش ICP، فرآیندهای PVD، فرآیندهای RTP و حامل‌های فرآیند CMP در تولید وافرهای اپیتکسیال نور الکتریکی استفاده می‌شوند.
مزایا
خواص مکانیکی عالی: مانند استحکام بالا، سختی بالا و مدول الاستیک بالا؛
مقاوم در برابر برخورد پلاسما؛
هدایت حرارتی خوب، محصول دارای یکنواختی دمای عالی است؛
مقاومت خوب در برابر شوک حرارتی، قادر به افزایش و کاهش سریع دما است.
