EN
Сипаттама
Кремний карбидті тасымалдаушылар/лотоктар суық изостатикалық престеу, құю немесе 3D баспа арқылы жоғары температурада пісіріледі. Пайдаланушының сызбаларына сәйкес сыртқы диаметр, қалыңдығы, акупунктура нүктелерінің саны мен өлшемі, кесу ойығының орны мен пішіні бойынша дәл өңдеу жүргізуге болады, сонымен қоса олардың нақты пайдалану талаптарын қанағаттандырады.
Жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде пластиналарды тасымалдаушылар жоғары температуралық және өте коррозияға төзімді ортадағы негізгі шығындалатын материалдар болып табылады және олардың өнімділігі процестің шығымы мен құнын тікелей әсер етеді. Соңғы жылдары кремний карбиді (SiC) керамикалық тасымалдаушылар/лотоктар өздерінің ерекше материалдық қасиеттері арқасында дәстүрлі графит негізіндегі тасымалдаушыларды біртіндеп алмастырып, жоғары жарықтылықтағы LED-тер, қоспа жартылай өткізгіштер мен қуат құрылғыларын өндірудің негізгі қолдау материалына айналды.
SiC тасымалдауыш табақ - негізгі материал ретінде кремний карбидінен жасалған дәл құрылымды компонент. Кремний карбидінің үлкен қасиеттері арқасындa ол жартылай өткізгіштер, фотожарықтандыру және жаңа материалдар дайындау сияқты жоғарғы сапалы өндіріс салаларында орналасу, позициялау, жылу беру және қорғау үшін маңызды рөл атқарады. Бұл процестің тұрақтылығы мен өнім шығымын қамтамасыз етудің негізгі компоненттерінің бірі.
Сәйкестіктер
KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC Техникалық деректер парағы
| Техникалық параметрлер | Бірлік | SiSiC/RBSiC мәні | SSiC мәні |
| Кремний карбидінің мөлшері | % | 85 | 99 |
| Бос кремний мөлшері | % | 15 | 0 |
| Көлемдік тығыздық 20°C | г/см³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| Ашық құрғақтық | Көлем % | 0 | 0 |
| Қаттылық HK | кг/мм² | 2600 | 2800 |
| Иілу беріктігі 20°C | Мпа | 250 | 380 |
| Иілу беріктігі 1200°C | Мпа | 280 | 400 |
| 20 – 1000°C (Жылу кеңею коэффициенті) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| Жылу өткізгіштік 1000°C | Вт/м·К | 45 | 74 |
| Статикалық 20°C (Созылу модулі) | ГПа | 330 | 420 |
| Жұмыс температурасы | °C | 1300 | 1600 |
| Макс. пайдалану темп. (ауа) | °C | 1380 | 1680 |
Қолданбалар
Оптоэлектрондық жарықтандырудың эпитаксиялық пластинкаларын өндіру кезінде ICP соққылық әдісі, PVD процесі, RTP процесі және CMP процесс тасымалдауыштарында қолданылатын дәл сериялы керамикалық құрылымды компоненттерге өте сәйкес.
Артықшылықтар
Жақсы механикалық қасиеттер: мысалы, жоғары беріктік, жоғары қаттылық және жоғары серпімділік модулі;
Плазма соққысына төзімділік;
Жақсы жылу өткізгіштік, өнімнің температураның біркелкілігі өте жақсы;
Жақсы жылулық соққыға төзімділік, тез қыздыруға және салқындатуға мүмкіндік береді.
