EN
Опис
Носії/лотки з карбіду кремнію виготовляються та спікаються при високих температурах за допомогою процесів, таких як холодне ізостатичне пресування, лиття або 3D-друк. Також можлива прецизійна механообробка зовнішнього діаметра, розмірів товщини, кількості та розміру точок, положення та форми різального пазу відповідно до конструкторських креслень замовника, щоб задовольнити їх специфічні вимоги щодо використання.
У процесах виробництва напівпровідників касети для пластин є основними споживчими матеріалами у середовищах із високим температурним режимом та високою корозійністю, а їхні характеристики безпосередньо впливають на вихід продукту та вартість виробництва. У останні роки касети/лотки з карбіду кремнію (SiC) поступово замінюють традиційні графітові касети завдяки своїм унікальним властивостям матеріалу, стаючи ключовим допоміжним матеріалом для виробництва світлодіодів високої яскравості, компаундних напівпровідників та потужних пристроїв.
Лоток SiC — це прецизійний конструктивний елемент, виготовлений із кераміки на основі карбіду кремнію. Завдяки відмінним властивостям кераміки з карбіду кремнію він відіграє ключову роль у транспортуванні, позиціонуванні, передачі тепла та захисті у таких галузях високотехнологічного виробництва, як напівпровідники, фотоелектрика та підготовка нових матеріалів. Це один із основних компонентів, що забезпечують стабільність процесу та вихід продукції.
Специфікації
Технічний паспорт KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC
| Технічні параметри | Одиниця | Значення SiSiC/RBSiC | Значення SSiC |
| Вміст карбіду кремнію | % | 85 | 99 |
| Вміст вільного кремнію | % | 15 | 0 |
| Об'ємна густина 20°C | г/см³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| Відкрита пористість | Об'ємн. % | 0 | 0 |
| Твердість HK | кг/мм² | 2600 | 2800 |
| Міцність на згин при 20°C | Мпа | 250 | 380 |
| Міцність на згин при 1200°C | Мпа | 280 | 400 |
| 20 – 1000°C (коефіцієнт теплового розширення) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| Теплопровідність при 1000°C | Вт/м·К | 45 | 74 |
| Статичний 20°C (модуль пружності) | ГПа | 330 | 420 |
| Робоча температура | °C | 1300 | 1600 |
| Макс. робоча температура (у повітрі) | °C | 1380 | 1680 |
Застосування
Особливо підходить для прецизійних керамічних конструкційних елементів, що використовуються в процесах ICP-травлення, процесах PVD, процесах RTP та носіях процесу CMP у виробництві оптоелектронних світлодіодних епітаксіальних пластин.
Переваги
Виняткові механічні властивості: такі як висока міцність, висока твердість та високий модуль пружності;
Стійкість до впливу плазми;
Добра теплопровідність, продукт має відмінну рівномірність температури;
Добра стійкість до термічного удару, здатний до швидкого підвищення та зниження температури.
