EN
الوصف
تُصنع حواجز/صواني كربيد السيليكون وتُلبد عند درجات حرارة عالية من خلال عمليات مثل الضغط البارد الإيزوستاتيكي، أو الصب، أو الطباعة ثلاثية الأبعاد. كما يمكن إجراء تشغيل دقيق على قطر السطح الخارجي، وأبعاد السُمك، وعدد وحجم النقاط الدقيقة، وموقع وشكل أخاديد القطع وفقًا لمخططات التصميم الخاصة بالمستخدم لتلبية متطلبات الاستخدام المحددة لديه.
في عمليات تصنيع أشباه الموصلات، تُعد حاملات الرقائق من المواد الاستهلاكية الأساسية في البيئات شديدة الحرارة وشديدة التآكل، ويؤثر أداؤها بشكل مباشر على عائد العملية والتكلفة. في السنوات الأخيرة، حلّت الحاملات/الأدراج الخزفية من كربيد السيليكون (SiC) محل الحاملات التقليدية القائمة على الجرافيت تدريجيًا بفضل خصائصها المادية الفريدة، وأصبحت مادة داعمة رئيسية في تصنيع مصابيح LED عالية السطوع وأشباه الموصلات المركبة والأجهزة الكهربائية.
إن درج الحامل من كربيد السيليكون (SiC) هو مكوّن هيكلي دقيق يُصنع من الخزف السيراميكي لكربيد السيليكون كمادته الأساسية. وبفضل الأداء المتميز للخزف السيراميكي لكربيد السيليكون، فإنه يؤدي دورًا رئيسيًا في الحمل والتحديد ومُرور الحرارة والحماية في مجالات التصنيع المتقدمة مثل أشباه الموصلات والطاقة الكهروضوئية وإعداد المواد الجديدة، وهو أحد المكونات الأساسية التي تضمن استقرار العملية وعائد المنتج.
المواصفات
ورقة البيانات الفنية KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC
| المعلمات الفنية | وحدة | قيمة SiSiC/RBSiC | قيمة SSiC |
| محتوى كربيد السيليكون | % | 85 | 99 |
| محتوى السيليكون الحر | % | 15 | 0 |
| الكثافة الظاهرية عند 20°C | ج/سم³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| المسامية المفتوحة | ٪ حجمي | 0 | 0 |
| الصلادة HK | كجم/مم² | 2600 | 2800 |
| مقاومة الانحناء عند 20°م | مبا | 250 | 380 |
| مقاومة الانحناء عند 1200°م | مبا | 280 | 400 |
| 20 – 1000°م (معامل التمدد الحراري) | 10–6 ك–1 | 4.5 | 4.1 |
| الconductivity الحراري عند 1000°م | W/م.ك | 45 | 74 |
| ثابت عند 20°م (معامل المرونة) | GPa | 330 | 420 |
| درجة حرارة التشغيل | °C | 1300 | 1600 |
| درجة الحرارة القصوى للخدمة (في الهواء) | °C | 1380 | 1680 |
التطبيقات
مناسب بشكل خاص للمكونات الهيكلية الدقيقة من السيراميك المستخدمة في عمليات التآكل بالبلازما (ICP)، وعمليات الترسيب البخاري الفيزيائي (PVD)، وعمليات التلدين الحراري السريع (RTP)، وحوامل عمليات التنعيم الكيميائي الميكانيكي (CMP) في تصنيع الشرائح الرباعية للإضاءة البصرية الإلكترونية.
المزايا
خصائص ميكانيكية ممتازة: مثل القوة العالية، والصلابة العالية، ومعامل المرونة العالي؛
مقاومة لتأثير البلازما؛
توصيل حراري جيد، حيث يتمتع المنتج بتوحيد ممتاز في درجة الحرارة؛
مقاومة جيدة للصدمات الحرارية، ويُمكنه الصعود والانخفاض السريع في درجة الحرارة.
