বর্ণনা
সিলিকন কার্বাইড বাহক/ট্রেগুলি কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, ঢালাই বা 3D প্রিন্টিং-এর মতো প্রক্রিয়ার মাধ্যমে উচ্চ তাপমাত্রায় গঠন এবং সিন্টার করা হয়। ব্যবহারকারীর নকশার অঙ্কন অনুযায়ী বাহ্যিক ব্যাস, পুরুত্বের মাত্রা, অ্যাকুপয়েন্টগুলির সংখ্যা ও আকার, কাটিং খাঁজের অবস্থান এবং আকৃতি ইত্যাদির উপর নির্ভুল যন্ত্র কাজ করা যেতে পারে, যাতে তাদের নির্দিষ্ট ব্যবহারের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করা যায়।
অর্ধপরিবাহী উৎপাদন প্রক্রিয়ায়, উচ্চ তাপমাত্রা এবং অত্যধিক ক্ষয়কারী পরিবেশে ওয়েফার বাহকগুলি মূল খরচযোগ্য উপাদান হিসাবে কাজ করে, এবং তাদের কর্মক্ষমতা প্রক্রিয়ার উৎপাদন এবং খরচকে সরাসরি প্রভাবিত করে। সম্প্রতি, সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক বাহক/ট্রেগুলি তাদের অনন্য উপাদান বৈশিষ্ট্যের কারণে ধীরে ধীরে ঐতিহ্যবাহী গ্রাফাইট-ভিত্তিক বাহকগুলিকে প্রতিস্থাপন করছে, যা উচ্চ উজ্জ্বলতা LED, যৌগিক অর্ধপরিবাহী এবং পাওয়ার ডিভাইসগুলির উৎপাদনের জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ সহায়ক উপাদান হিসাবে পরিণত হয়েছে।
SiC বাহক ট্রে হল সিলিকন কার্বাইড সিরামিক দিয়ে তৈরি একটি নির্ভুল কাঠামোগত উপাদান। সিলিকন কার্বাইড সিরামিকের চমৎকার কর্মক্ষমতার সাথে, এটি অর্ধপরিবাহী, ফটোভোলটাইক এবং নতুন উপাদান প্রস্তুতির মতো উচ্চ-প্রান্তের উৎপাদন ক্ষেত্রগুলিতে বহন, অবস্থান নির্ধারণ, তাপ স্থানান্তর এবং সুরক্ষায় একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা এবং পণ্যের উৎপাদন নিশ্চিত করার জন্য এটি মূল উপাদানগুলির মধ্যে একটি।
স্পেসিফিকেশন
KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC প্রযুক্তিগত ডেটা শীট
টেকনিক্যাল প্যারামিটার | ইউনিট | SiSiC/RBSiC মান | SSiC মান |
সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী | % | 85 | 99 |
মুক্ত সিলিকন সামগ্রী | % | 15 | 0 |
বাল্ক ঘনত্ব 20°C | g/cm³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
খোলা ছিদ্রযুক্ততা | আয়তন % | 0 | 0 |
কঠোরতা HK | কেজি/মিমি² | 2600 | 2800 |
ফ্লেক্সুরাল শক্তি 20°C | এমপিএ | 250 | 380 |
ফ্লেক্সুরাল শক্তি 1200°C | এমপিএ | 280 | 400 |
20 – 1000°C (তাপীয় প্রসারণের সহগ) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
তাপ পরিবাহিতা 1000°C | ওয়াট/মি.কে | 45 | 74 |
স্ট্যাটিক 20°C (ইলাস্টিসিটির মডুলাস) | GPa | 330 | 420 |
কাজের তাপমাত্রা | °C | 1300 | 1600 |
সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা (বাতাস) | °C | 1380 | 1680 |
অ্যাপ্লিকেশন
বিশেষ করে আইসি ইচ্ছার প্রক্রিয়া, পিভিডি প্রক্রিয়া, আরটিপি প্রক্রিয়া এবং অপটোইলেকট্রনিক লাইটিং এপিট্যাক্সিয়াল ওয়েফার উৎপাদনে সিএমপি প্রক্রিয়া বাহকগুলিতে ব্যবহৃত নির্ভুল সিরামিক গঠনমূলক উপাদানগুলির জন্য উপযুক্ত।
সুবিধা
দুর্দান্ত যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য: যেমন উচ্চ শক্তি, উচ্চ কঠোরতা এবং উচ্চ স্থিতিস্থাপক মডিউলাস;
প্লাজমা আঘাতের বিরুদ্ধে প্রতিরোধ;
ভালো তাপ পরিবাহিতা, পণ্যটির তাপমাত্রার সমান বিন্যাস রয়েছে;
ভালো তাপীয় আঘাত প্রতিরোধ, দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি এবং হ্রাস করার সক্ষম।