EN
תֵאוּר
משטחי העברה מkaarbid סיליקון מתפורמים ומתאגדים בטמפרטורות גבוהות באמצעות תהליכים כגון דחיסה איזוסטטית קרה, יציקה או הדפסה תלת-ממדית. ניתן לבצע עיבוד מדויק של הקוטר החיצוני, מידות הס Thickness, מספר וגודל נקודות האבקה, מיקום וצורת שוחק הגזירה לפי שרטוטי העיצוב של המשתמש כדי לעמוד בדרישות השימוש הספציפיות שלהם.
בתהליכי ייצור של מוליכים למחצה, נשאי וויפר הם צורכי שיא עיקריים בסביבות בעלות טמפרטורה גבוהה ומצב מתקדם של קורוזיה, וביצועיהם משפיעים ישירות על נפח התפוקה ועל העלות. בשנים האחרונות, נשאי/صحונים קרמיים מסיליקון קרביד (SiC) הוחלפו בהדרגה בנשאים המבוססים על גרפיט מסורתיים, בשל תכונות החומר הייחודיות שלהם, והפכו לחומר תמיכה עיקרי בתהליך ייצור של דיודות פולטות אור בהארה גבוהה, מוליכים למחצה מורכבים והתקני כוח.
صحון SiC הוא רכיב מבני מדויק שעשוי מחומר קרמי של סיליקון קרביד. בזכות הביצועים הגבוהים של חומרי הסיליקון קרביד, הוא ממלא תפקיד מרכזי בהובלה, מיקום, העברת חום והגנה בתחומי הייצור המתקדמים כמו מוליכי למחצה, פוטוולטאייקה והכנה של חומרים חדשים, והוא אחד מהרכיבים המרכזיים שמבטיחים יציבות בתהליך ורמת תפוקה גבוהה.
תכונות
גיליון נתוני טכניים KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC
| פרמטרים טכניים | יחידה | ערך SiSiC/RBSiC | ערך SSiC |
| תכולת סיליקון קרביד | % | 85 | 99 |
| תכולת סיליקון חופשי | % | 15 | 0 |
| צפיפות נפחית 20°C | g/cm³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| ספיגות פתוחה | נפח % | 0 | 0 |
| קשיות HK | גרם/מ"מ² | 2600 | 2800 |
| прочות כפיפה 20 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 250 | 380 |
| Прочות כפיפה 1200 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 280 | 400 |
| 20 – 1000 מעלות צלזיוס (מקדם ההתפשטות התרמית) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| מוליכות תרמית 1000 מעלות צלזיוס | W/מ"ק | 45 | 74 |
| סטטי 20°C (מודולוס האלסטיות) | GPa | 330 | 420 |
| טמפרטורת עבודה | °C | 1300 | 1600 |
| טמפרטורת עבודה מקסימלית (אוויר) | °C | 1380 | 1680 |
יישומים
מתאים במיוחד לרכיבים מבניים קרמיים Прецизиוניים המשמשים בתהליכי חטיבה של ICP, תהליכי PVD, תהליכי RTP, ומובילי CMP בייצור וויפרים אפיטקסיאליים להארה אופטו-אלקטרונית.
יתרונות
תכונות מכניות מمتازות: כגון עוצמה גבוהה, קשיות גבוהה, ומודול אלסטיות גבוה;
עמידות בפני פלזמה;
מוליכות תרמית טובה, למוצר יש אחידות טמפרטורה מעולה;
עמידות טובה בפני הלם תרמי, מסוגל לעלות ולרדת במהירות בטמפרטורה.
