EN
Tavsif
Silitsiy karbid tayyorlamalari/traylari sovutish izostatik preslash, quyish yoki 3D bosib chiqish kabi jarayonlar orqali yuqori haroratlarda shakllantiriladi va pirolizlanadi. Foydalanuvchi loyihasi asosida tashqi diametri, qalinligi, o'lchamlari, akupunktura nuqtalari soni va hajmi, kesish teshigining o'rni va shakli bo'yicha aniq ishlashni amalga oshirish hamda ularning maxsus foydalanish ehtiyojlarini qondirish ham mumkin.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonlarida plastinkalar tashuvchilari yuqori haroratli va kuchli korroziyaga olib keladigan muhitdagi asosiy iste'mol materiallari bo'lib, ularning ishlashi jarayonni olish darajasiga va xarajatlarga bevosita ta'sir qiladi. So'nggi yillarda, karborund (SiC) keramik tashuvchilar/traylar o'zining noyob material xususiyatlariga ko'ra an'anaviy grafit asosidagi tashuvchilarni asta-sekin almashtirib, yuqori yorqinlikdagi LED, murakkab yarimo'tkazgichlar va quvvat qurilmalari ishlab chiqarish uchun muhim tayanch materialga aylanmoqda.
SiC tashuvchi tray - karborund keramikasidan tayyorlangan aniq strukturaviy komponent bo'lib, yarimo'tkazgichlar, fotovoltaika va yangi materiallarni tayyorlash kabi yuqori texnologiyali sohalarda plastinkalarni olib yurish, joylashtirish, issiqlik uzatish hamda himoya qilishda muhim rol o'ynaydi. Bu jarayonning barqarorligi va mahsulotlarni olish darajasini ta'minlovchi asosiy komponentlardan biridir.
Koʻrsatkichlari
KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC Texnik ma'lumotnomasi
| Texnik parametrlar | Бирлик | SiSiC/RBSiC Qiymati | SSiC Qiymati |
| Kremniy karbid tarkibi | % | 85 | 99 |
| Bepul kremniy tarkibi | % | 15 | 0 |
| 20°C da zichlik zichligi | g/cm³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| Ochiq poroznost | Hajm % | 0 | 0 |
| Qattiqlik HK | kg/mm² | 2600 | 2800 |
| Egurish kuchli 20°C | Mpa | 250 | 380 |
| Egurish kuchli 1200°C | Mpa | 280 | 400 |
| 20 – 1000°C (Isiqlik kengayish koeffitsiyenti) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| Isiqlik o'tkazuvchanligi 1000°C | Vt/m.K | 45 | 74 |
| Statik 20°C (Elastiklik moduli) | GPa | 330 | 420 |
| Ish harorati | °C | 1300 | 1600 |
| Maks. Ishchi harorat (havo) | °C | 1380 | 1680 |
Qo'llanish sohaları
Ayniqsa, optoelektron yoritish epitaxial plastinkalarini ishlab chiqarishda ICP etkazib chiqarish jarayonlari, PVD jarayonlari, RTP jarayonlari va CMP jarayon tashuvchilari uchun ishlatiladigan aniq keramik konstruksion komponentlar uchun juda mos.
Afzalliklar
A'lo mexanik xususiyatlarga ega: masalan, yuqori mustahkamlik, yuqori qattiqlik va yuqori elastik modul;
Plazmaga qarshilik;
Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanlik, mahsulotda a'lo holatdagi harorat bir tekisligi mavjud;
Yaxshi issiqlik ta'siriga chidamlilik, tez harorat oshirish va pasaytirish imkoniyati mavjud.
