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विवरण
सिलिकॉन कार्बाइड वाहक/ट्रे को ठंडे आइसोस्टेटिक प्रेसिंग, ढलाई या 3D प्रिंटिंग जैसी प्रक्रियाओं के माध्यम से उच्च तापमान पर आकार दिया जाता है और सिंटर किया जाता है। उपयोगकर्ता के डिज़ाइन ड्राइंग के अनुसार बाहरी व्यास, मोटाई के आयाम, सूई बिंदुओं की संख्या और आकार, कटिंग ग्रूव की स्थिति और आकार के अनुसार बाहरी व्यास, मोटाई के आयाम, सूई बिंदुओं की संख्या और आकार, कटिंग ग्रूव की स्थिति और आकार पर परिशुद्ध मशीनिंग करना भी संभव है, ताकि उनकी विशिष्ट उपयोग आवश्यकताओं को पूरा किया जा सके।
अर्धचालक निर्माण प्रक्रियाओं में, वेफर वाहक उच्च तापमान और अत्यधिक क्षरणकारी वातावरण में मुख्य उपभोग्य सामग्री होते हैं, और उनके प्रदर्शन सीधे प्रक्रिया उपज और लागत को प्रभावित करते हैं। हाल के वर्षों में, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक वाहक/ट्रे अपने विशिष्ट सामग्री गुणों के कारण धीरे-धीरे पारंपरिक ग्रेफाइट आधारित वाहकों का स्थान ले लिया है, उच्च चमक वाले एलईडी, यौगिक अर्धचालकों और पावर उपकरणों के निर्माण के लिए एक प्रमुख सहायक सामग्री बन गए हैं।
SiC वाहक ट्रे एक सटीक संरचनात्मक घटक है जिसका मुख्य सामग्री सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक्स है। सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक्स के उत्कृष्ट प्रदर्शन के साथ, यह अर्धचालक, फोटोवोल्टिक्स और नए सामग्री तैयारी जैसे उच्च-स्तरीय निर्माण क्षेत्रों में वहन, स्थिति निर्धारण, ऊष्मा संचरण और सुरक्षा में महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है। यह प्रक्रिया स्थिरता और उत्पाद उपज सुनिश्चित करने के लिए मुख्य घटकों में से एक है।
विनिर्देश
KCE® SiSiC/RBSiC/SSiC तकनीकी डेटा शीट
| तकनीकी मापदंड | इकाई | SiSiC/RBSiC मूल्य | SSiC मूल्य |
| सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री | % | 85 | 99 |
| मुक्त सिलिकॉन सामग्री | % | 15 | 0 |
| 20 डिग्री सेल्सियस पर बल्क घनत्व | g/cm³ | ≥3.02 | ≥3.10 |
| खुली छिद्रता | आयतन % | 0 | 0 |
| कठोरता HK | किग्रा/वर्ग मिमी | 2600 | 2800 |
| बंकन शक्ति 20°सेल्सियस | एमपीए | 250 | 380 |
| बंकन शक्ति 1200°सेल्सियस | एमपीए | 280 | 400 |
| 20 – 1000°सेल्सियस (ऊष्मीय प्रसार का गुणांक) | 10–6 K–1 | 4.5 | 4.1 |
| ऊष्मीय चालकता 1000°सेल्सियस | वाट/मी.केल्विन | 45 | 74 |
| स्थिर 20°C (लोच का प्रत्यास्थता मापांक) | जीपीए | 330 | 420 |
| कार्यशील तापमान | °C | 1300 | 1600 |
| अधिकतम उपयोग तापमान (हवा में) | °C | 1380 | 1680 |
अनुप्रयोग
ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रकाश एपिटैक्सियल वेफर के निर्माण में ICP एचिंग प्रक्रियाओं, PVD प्रक्रियाओं, RTP प्रक्रियाओं और CMP प्रक्रिया वाहकों में उपयोग किए जाने वाले सटीक सिरेमिक संरचनात्मक घटकों के लिए विशेष रूप से उपयुक्त है।
लाभ
उत्कृष्ट यांत्रिक गुण: जैसे उच्च शक्ति, उच्च कठोरता और उच्च लोच मापांक;
प्लाज्मा प्रभाव के प्रति प्रतिरोध;
अच्छी ऊष्मा चालकता, उत्पाद में उत्कृष्ट तापमान एकरूपता होती है;
अच्छी तापीय आघात प्रतिरोधकता, तीव्र तापमान वृद्धि और कमी की क्षमता रखता है।
