EN
Mô tả
Ống lò khí quyển silicon carbide phản ứng thiêu kết KCE® dùng trong thiết bị bán dẫn chủ yếu được chia thành hai loại: nằm ngang và thẳng đứng.
Ống lò nằm ngang: Trong loại ống lò này, oát được đặt trên một thuyền oát bằng silicon carbide, sau đó được đặt lên một cần gắp vận chuyển làm bằng SiC. Cần gắp có nhiệm vụ đưa thuyền tinh thể và oát vào bên trong ống lò như một khối thống nhất. Tại vùng nhiệt độ hằng định của ống lò, oát thực hiện các phản ứng hóa học cần thiết. Sau khi phản ứng hoàn tất, oát cũng được kéo ra từ từ để tránh bị cong hoặc nứt do chênh lệch nhiệt độ giữa bên trong và bên ngoài lò. Thiết kế của ống lò nằm ngang giúp oát duy trì độ đồng đều và ổn định tốt trong suốt quá trình phản ứng.
Ống lò đứng: Khác với ống lò nằm ngang, các oanh trong ống lò đứng được đặt trên một tháp silicon carbide. Khi tháp từ từ nâng lên, oanh đi vào ống lò silicon carbide để xử lý. Sau khi phản ứng hoàn tất, oanh cũng cần được hạ xuống từ từ để tránh bị cong hoặc nứt do chênh lệch nhiệt độ. Thiết kế ống lò đứng có lợi thế tiết kiệm không gian và có thể mang lại hiệu quả phản ứng tốt hơn trong một số quy trình
Thông số kỹ thuật
Bảng thông số kỹ thuật KCE® SiSiC/RBSiC
| Thông số kỹ thuật | Đơn vị | Giá trị |
| Hàm lượng Carbide Silic | % | 85 |
| Hàm lượng Silic tự do | % | 15 |
| Khối lượng riêng khối 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Độ xốp hở | Vol % | 0 |
| Độ cứng HK | kg/mm² | 2600 |
| Cường độ uốn 20°C | MPa | 250 |
| Cường độ uốn 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Hệ số giãn nở nhiệt) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Dẫn nhiệt 1000°C | W/m.k | 45 |
| Tĩnh 20°C (Mô-đun Đàn hồi) | GPa | 330 |
| Nhiệt độ làm việc | °C | 1300 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa (trong không khí) | °C | 1380 |
Ứng dụng
Ống lò silicon carbide kết phản ứng KCE® cho thiết bị bán dẫn là một trong những thiết bị chính trong quá trình sản xuất bán dẫn. Các ống lò có nhiều ứng dụng rộng rãi trong các quy trình bán dẫn, bao gồm khuếch tán, đẩy sâu, oxy hóa, lắng đọng, ủ và thiêu kết. Những quá trình này rất quan trọng đối với hiệu suất và chất lượng của các oanh bán dẫn. Các ống lò silicon carbide thường được sử dụng trong các thiết bị như lò oxy hóa-khuếch tán bán dẫn, LPCVD và lò ủ.
Ưu điểm
Ống lò silicon carbide cấp bán dẫn có độ tinh khiết cao, chịu nhiệt độ cao và ổn định lâu dài tốt. Chúng có lớp màng mỏng bằng vật liệu silicon carbide độ tinh khiết cao, giúp tránh việc đưa tạp chất vào và giảm ô nhiễm môi trường trong quá trình chế tạo. Chúng phù hợp với các quy trình yêu cầu độ sạch cao.
