EN
تفصیل
KCE® ری ایکشن سِنٹرڈ سلیکون کاربائیڈ ماحولیاتی بھٹی کے ٹیوب جو سیمی کنڈکٹر کے سامان میں استعمال ہوتے ہیں، بنیادی طور پر دو اقسام میں تقسیم کیے جاتے ہیں: افقی اور عمودی۔
افقی فرنس ٹیوب: اس قسم کی فرنس ٹیوب میں وافر کو سلیکون کاربائیڈ وافر بوٹ پر رکھا جاتا ہے، جسے پھر SiC سے بنے کیرئیر پیڈل پر رکھا جاتا ہے۔ کیرئیر پیڈل کا کام کرسٹل بوٹ اور وافر کو لوڈ کرنا اور انہیں مکمل طور پر فرنس ٹیوب میں دھکیلنا ہوتا ہے۔ فرنس ٹیوب کے مسلّط درجہ حرارت والے علاقے میں، وافر ضروری کیمیائی رد عمل سے گزرتا ہے۔ رد عمل مکمل ہونے کے بعد، وافر کو بھی آہستہ آہستہ باہر کھینچا جاتا ہے تاکہ فرنس کے اندر اور باہر درجہ حرارت کے فرق کی وجہ سے موڑ یا دراڑ آنے سے بچا جا سکے۔ افقی فرنس ٹیوب کی ترکیب اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ رد عمل کے عمل کے دوران وافر اچھی ہم آہنگی اور استحکام برقرار رکھے۔
عمودی فرنس ٹیوب: افقی فرنس ٹیوب کے برعکس، عمودی فرنس ٹیوب میں ویفرز سلیکون کاربائیڈ ٹاور پر رکھی جاتی ہیں۔ جیسے جیسے ٹاور آہستہ آہستہ اوپر جاتا ہے، ویفر سلیکون کاربائیڈ فرنس ٹیوب میں پروسیسنگ کے لیے داخل ہوتی ہے۔ ردعمل مکمل ہونے کے بعد، درجہ حرارت کے فرق کی وجہ سے موڑنے یا دراڑ پیدا ہونے سے بچنے کے لیے ویفر کو آہستہ آہستہ نیچے لانا بھی ضروری ہوتا ہے۔ جگہ بچانے کے لیے عمودی فرنس ٹیوب کے ڈیزائن فائدہ مند ہوتا ہے اور کچھ عمل میں بہتر ردعمل کے اثرات ہو سکتے ہیں
تفصیلات
کے سی ای سی® ایس آئی ایس آئی سی/آر بی ایس آئی سی تکنیکی ڈیٹا شیٹ
| تکنیکی پیرامیٹرز | یونٹ | قیمت |
| سیلیکون کاربائیڈ کا مواد | % | 85 |
| آزاد سلیکون کا مواد | % | 15 |
| 20°C پر بیچ فلکتی کثافت | g⁄cm³ | ≥3.02 |
| کھلی سُرجھن | حجم فیصد | 0 |
| سختی ایچ کے | کلوگرام/ملی میٹر² | 2600 |
| Flexural Strength 20°C | ایم پی اے | 250 |
| Flexural Strength 1200°C | ایم پی اے | 280 |
| 20 – 1000°C (Coefficient of Thermal Expansion) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Thermal Conductivity 1000°C | واٹ/میٹر۔کیلفن | 45 |
| سٹیٹک 20°C (کشیدگی کا ماڈولس) | GPa | 330 |
| کام کرنے کا درجہ حرارت | °C | 1300 |
| زیادہ سے زیادہ سروس درجہ حرارت (ہوا) | °C | 1380 |
استعمالات
سیمی کنڈکٹر سازوسامان کے لیے KCE® ری ایکشن سینٹرڈ سلیکون کاربائیڈ فرنیس ٹیوب سیمی کنڈکٹر تیاری کے عمل کا ایک اہم ذریعہ ہے۔ فرنیس ٹیوبز کا استعمال سیمی کنڈکٹر کے عمل میں وسیع پیمانے پر ہوتا ہے، جس میں ڈفیوژن، ڈرائیو ان، آکسیڈیشن، جمع کرنا، اینیلنگ اور سینٹرنگ شامل ہیں۔ یہ تمام عمل سیمی کنڈکٹر وافرز کی کارکردگی اور معیار کے لیے نہایت اہم ہیں۔ سلیکون کاربائیڈ فرنیس ٹیوبز عام طور پر سیمی کنڈکٹر آکسیڈیشن ڈفیوژن فرنیسز، LPCVD، اور اینیلنگ فرنیسز جیسے سازوسامان میں استعمال ہوتے ہیں۔
فوائد
سیمی کنڈکٹر گریڈ سلیکون کاربائیڈ فرنیس ٹیوبز میں اعلیٰ صفائی، اعلیٰ درجہ حرارت کی مزاحمت اور اچھی طویل مدتی استحکام ہوتی ہے۔ ان میں اعلیٰ صفائی والی سلیکون کاربائیڈ مواد کی ایک پتلی تہہ ہوتی ہے، جو آلودگی کے داخلے سے بچاتی ہے اور تیاری کے عمل کے دوران ماحولیاتی آلودگی کو کم کرتی ہے۔ یہ وہ تمام عمل جن میں اعلیٰ صفائی کی ضرورت ہوتی ہے، کے لیے مناسب ہیں۔
