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विवरण
अर्धचालक उपकरणों में उपयोग की जाने वाली KCE® प्रतिक्रिया सिंटर किए गए सिलिकॉन कार्बाइड वातावरण भट्ठी ट्यूब मुख्य रूप से दो प्रकारों में विभाजित होते हैं: क्षैतिज और ऊर्ध्वाधर।
क्षैतिज भट्टी ट्यूब: इस प्रकार की भट्टी ट्यूब में, वेफर को सिलिकॉन कार्बाइड के वेफर बोट पर रखा जाता है, जिसे फिर SiC के बने वाहक पैडल पर रखा जाता है। वाहक पैडल का कार्य क्रिस्टल बोट और वेफर को लोड करना और उन्हें पूर्ण रूप से भट्टी ट्यूब में धकेलना होता है। भट्टी ट्यूब के स्थिर तापमान क्षेत्र में, वेफर आवश्यक रासायनिक अभिक्रियाओं से गुजरता है। प्रतिक्रिया पूरी होने के बाद, वेफर को भी धीरे-धीरे बाहर खींचा जाता है ताकि भट्टी के अंदर और बाहर के तापमान में अंतर के कारण मुड़ने या फटने से बचा जा सके। क्षैतिज भट्टी ट्यूब के डिजाइन से यह सुनिश्चित होता है कि अभिक्रिया प्रक्रिया के दौरान वेफर अच्छी समानता और स्थिरता बनाए रखे।
ऊर्ध्वाधर भट्टी ट्यूब: क्षैतिज भट्टी ट्यूब के विपरीत, ऊर्ध्वाधर भट्टी ट्यूब में वेफर सिलिकॉन कार्बाइड के टावर पर रखे जाते हैं। जैसे-जैसे टावर धीरे-धीरे ऊपर उठता है, वेफर सिलिकॉन कार्बाइड भट्टी ट्यूब में प्रसंस्करण के लिए प्रवेश करता है। प्रतिक्रिया पूरी हो जाने के बाद, तापमान में अंतर के कारण मुड़ने या दरकने को रोकने के लिए वेफर को धीरे-धीरे नीचे लाया जाना भी आवश्यक होता है। ऊर्ध्वाधर भट्टी ट्यूब के डिजाइन से स्थान की बचत होती है और कुछ प्रक्रियाओं में बेहतर प्रतिक्रिया प्रभाव भी हो सकते हैं
विनिर्देश
केसीई® एसआईएसआईसी/आरबीएसआईसी तकनीकी डेटा शीट
| तकनीकी मापदंड | इकाई | मूल्य |
| सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री | % | 85 |
| मुक्त सिलिकॉन सामग्री | % | 15 |
| 20 डिग्री सेल्सियस पर बल्क घनत्व | g/cm³ | ≥3.02 |
| खुली छिद्रता | आयतन % | 0 |
| कठोरता HK | किग्रा/वर्ग मिमी | 2600 |
| बंकन शक्ति 20°सेल्सियस | एमपीए | 250 |
| बंकन शक्ति 1200°सेल्सियस | एमपीए | 280 |
| 20 – 1000°सेल्सियस (ऊष्मीय प्रसार का गुणांक) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| ऊष्मीय चालकता 1000°सेल्सियस | वाट/मी.केल्विन | 45 |
| स्थिर 20°C (लोच का प्रत्यास्थता मापांक) | जीपीए | 330 |
| कार्यशील तापमान | °C | 1300 |
| अधिकतम उपयोग तापमान (हवा में) | °C | 1380 |
अनुप्रयोग
अर्धचालक उपकरणों के लिए KCE® प्रतिक्रिया सिंटर किया गया सिलिकॉन कार्बाइड भट्ठी ट्यूब अर्धचालक निर्माण प्रक्रिया में प्रमुख उपकरणों में से एक है। अर्धचालक प्रक्रियाओं में विसरण, ड्राइव-इन, ऑक्सीकरण, निक्षेपण, एनीलिंग और सिंटरिंग सहित भट्ठी ट्यूब के विस्तृत अनुप्रयोग हैं। ये प्रक्रियाएँ अर्धचालक वेफर के प्रदर्शन और गुणवत्ता के लिए महत्वपूर्ण हैं। सिलिकॉन कार्बाइड भट्ठी ट्यूब आमतौर पर अर्धचालक ऑक्सीकरण विसरण भट्ठी, LPCVD और एनीलिंग भट्ठी जैसे उपकरणों में उपयोग की जाती हैं।
लाभ
अर्धचालक ग्रेड सिलिकॉन कार्बाइड भट्ठी ट्यूब में उच्च शुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोधकता और अच्छी दीर्घकालिक स्थिरता होती है। इनमें उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री की एक पतली परत होती है, जो अशुद्धियों के प्रवेश को रोकती है और तैयारी प्रक्रिया के दौरान पर्यावरणीय प्रदूषण को कम करती है। ये उच्च स्वच्छता की आवश्यकता वाली प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त हैं।
