EN
Kirjeldus
KCE® reaktsiooniga küttega valmistatud räni karbiidi atmosfääripiiritorud, mida kasutatakse pooljuhtide seadmetes, jagunevad peamiselt kaheks tüübiks: horisontaalne ja vertikaalne.
Horisontaalne põletustoru: Selle tüüpi põletustorus asetatakse plaat silikonkarbiidi plaatidepaati, mis omakorda paigutatakse SiC-dest valmistatud kandvale paadile. Kandev paat vastutab kristallpaadi ja plaadi laadimise eest ning nende tervikuna põletustorusse saatmise eest. Põletustoru konstantse temperatuurivööndis läbib plaat vajalikud keemilised reaktsioonid. Reaktsiooni lõppemisel tõmmatakse plaat aeglaselt välja, et vältida paindumist või pragunemist temperatuuri erinevuse tõttu põletuse sisemise ja välimise osa vahel. Horisontaalse põletustoru disain võimaldab plaadil säilitada hea ühtlase olukorra ja stabiilsuse reaktsiooniprotsessi ajal.
Vertikaalne põletustoru: erinevalt horisontaalsetest põletustorudest paigutatakse vertikaalsetesse põletustorudesse plaadid rauasüsiniku torni peale. Torni aeglasel tõusmisel siseneb plaat töötlemiseks rauasüsiniku põletustorusse. Pärast reaktsiooni lõppu tuleb plaadi ka aeglaselt alla tuua, et vältida temperatuuride erinevusest tingitud paindumist või pragunemist. Vertikaalsete põletustorude disain on ruumi säästmiseks soodne ja võib teatud protsessides anda paremaid reaktsioonitulemusi
Spetsifikatsioonid
KCE® SiSiC/RBSiC Tehniline andmekaart
| Tehnilised parameetrid | Ühik | Väärtus |
| Räni karbiidi sisaldus | % | 85 |
| Vaba räni sisaldus | % | 15 |
| Pakkumistihe 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Avatud poorseis | Vol % | 0 |
| Kõvadus HK | kg/mm² | 2600 |
| Plii tugevus 20°C | MPa | 250 |
| Plii tugevus 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (soojalaienemise kordaja) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Soojusjuhtivus 1000°C | W/m.K | 45 |
| Staatiline 20°C (Elastsuse moodul) | GPa | 330 |
| Töötemperatuur | °C | 1300 |
| Max. töötemperatuur (õhu korral) | °C | 1380 |
Rakendused
KCE® reaktsioonisinterdatud räni karbiidi küttepiip pooljuhtseadmete jaoks on üks peamisi seadmeid pooljuhtide tootmisprotsessis. Küttepiipidel on lai valik rakendusi pooljuhtide protsessides, sealhulgas difusioon, sissekeeramine, oksüdatsioon, sadestumine, termiline töötlus ja sinterdamine. Need protsessid on olulised pooljuhtplaatide jõudluse ja kvaliteedi seisukohalt. Räni karbiidi küttepiipe kasutatakse tavaliselt sellistes seadmetes nagu pooljuhtide oksüdatsiooni- ja difusioonikolded, LPCVD ja termilise töötlemise kolded.
Eelised
Pooljuhtide klassi räni karbiidi küttepiipidel on kõrge puhtus, kõrgetemperatuuriline vastupidavus ja hea pikaajaline stabiilsus. Neil on õhuke kiht kõrgepuhtusega räni karbiidi materjalist, mis vältib lisandite sattumist ja vähendab keskkonnasaastust valmistamise protsessi ajal. Need on sobivad protsessidele, kus nõutakse kõrget puhtust.
