EN
Tavsif
Yarimo'tkazgich uskunalari uchun ishlatiladigan KCE® reaktsion sinterlangan silitsiy karbiddan tayyorlangan atmosferali pech trubalari asosan ikki turga: gorizontal va vertikal bo'linadi.
Gorizontal pech trubasi: Ushbu turdagi pech trubasida plastinka silitsiy karbiddan tayyorlangan plastinkalar qayig'iga joylashtiriladi, bu esa SiC dan tayyorlangan o'tkazuvchi lopastka ustiga o'rnatiladi. O'tkazuvchi lopastka kristall qayiqni va plastinkani yuklash, ularni bir butun sifatida pech trubasiga surish vazifasini bajaradi. Pech trubasining doimiy harorat zonasida plastinkada kerakli kimyoviy reaksiyalar amalga oshiriladi. Reaksiya tugagach, plastinkani pech ichidagi va tashqari harorat farqidan kelib chiqadigan egilish yoki shikastlanishni oldini olish uchun sekin-chekin chiqariladi. Gorizontal pech trubasining dizayni plastinkaga reaksiya jarayonida yaxshi bir xillik va barqarorlik saqlash imkonini beradi.
Vertikal pech trubasi: Gorizontal pech trubalari bilan solishtirganda, vertikal pech trubalaridagi plastinkalar silitsiy karbidli minor ustiga joylashtiriladi. Minor sekin ko'tarilganda, plastinkalar silitsiy karbidli pech trubasiga ishlash uchun kiradi. Reaksiya tugagach, plastinkani harorat farqidan kelib chiqadigan egilish yoki troshchaniklarni oldini olish uchun ham sekin tushirish kerak. Vertikal pech trubalari dizayni fazoni tejashga yordam beradi va ayrim jarayonlarda yaxshiroq reaksiya effektiga ega bo'lishi mumkin
Koʻrsatkichlari
KCE® SiSiC/RBSiC Texnik ma'lumotlar varaqasi
| Texnik parametrlar | Бирлик | Qiymat |
| Kremniy karbid tarkibi | % | 85 |
| Bepul kremniy tarkibi | % | 15 |
| 20°C da zichlik zichligi | g/cm³ | ≥3.02 |
| Ochiq poroznost | Hajm % | 0 |
| Qattiqlik HK | kg/mm² | 2600 |
| Egurish kuchli 20°C | Mpa | 250 |
| Egurish kuchli 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Isiqlik kengayish koeffitsiyenti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Isiqlik o'tkazuvchanligi 1000°C | Vt/m.K | 45 |
| Statik 20°C (Elastiklik moduli) | GPa | 330 |
| Ish harorati | °C | 1300 |
| Maks. Ishchi harorat (havo) | °C | 1380 |
Qo'llanish sohaları
Yarimo'tkazgich uskunalar uchun KCE® Reaktsion sinterlangan kremniy karbidi pech trubasi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonining muhim qismi hisoblanadi. Pech trubalari yarimo'tkazgichlarni tarqatish, o'tkazish, oksidlanish, cho'kish, temperleash va sinterlash kabi jarayonlarda keng qo'llaniladi. Bu jarayonlar yarimo'tkazgich plastinkalarning ishlashi va sifati uchun juda muhim. Kremniy karbidi pech trubalari odatda yarimo'tkazgich oksidlanshin diffuziya pechlari, LPCVD va temperleash pechlari kabi uskunalarda foydalaniladi.
Afzalliklar
Yarimo'tkazgich darajasidagi kremniy karbidi pech trubalari yuqori tozalik, yuqori haroratga chidamlik va yaxshi uzoq muddatli barqarorlikka ega. Ular yuqori tozalikdagi kremniy karbidi materialining ingichka qavatiga ega bo'lib, tayyorlash jarayonida aralashmalar qo'shishni oldini oladi va atrof-muhitni ifloslanishini kamaytiradi. Ular yuqori tozalik talab etiladigan jarayonlar uchun mos keladi.
