EN
Περιγραφή
Οι σωληνώσεις ατμόσφαιρας από καρβίδιο πυριτίου με αντίδραση KCE® που χρησιμοποιούνται σε εξοπλισμό ημιαγωγών διακρίνονται κυρίως σε δύο τύπους: οριζόντιους και κάθετους.
Οριζόντιος σωλήνας φούρνου: Σε αυτόν τον τύπο σωλήνα φούρνου, το υπόστρωμα τοποθετείται σε μια βάρκα υποστρώματος από καρβίδιο πυριτίου, η οποία στη συνέχεια τοποθετείται σε ένα εργαλείο μεταφοράς κατασκευασμένο από SiC. Το εργαλείο μεταφοράς έχει την ευθύνη να φορτώνει τη βάρκα κρυστάλλωσης και το υπόστρωμα, και να τα σπρώχνει μαζί στο σωλήνα του φούρνου. Στη ζώνη σταθερής θερμοκρασίας του σωλήνα φούρνου, το υπόστρωμα υφίσταται τις απαιτούμενες χημικές αντιδράσεις. Μετά την ολοκλήρωση της αντίδρασης, το υπόστρωμα απομακρύνεται σιγά-σιγά για να αποφευχθεί η λύγισμα ή ρωγμές λόγω διαφορών θερμοκρασίας εντός και εκτός του φούρνου. Η σχεδίαση του οριζόντιου σωλήνα φούρνου επιτρέπει στο υπόστρωμα να διατηρεί καλή ομοιομορφία και σταθερότητα κατά τη διάρκεια της διεργασίας αντίδρασης.
Κάθετος σωλήνας καμίνου: Σε αντίθεση με τους οριζόντιους σωλήνες καμίνου, οι wafer σε κάθετους σωλήνες καμίνου τοποθετούνται πάνω σε έναν πύργο καρβιδίου πυριτίου. Καθώς ο πύργος ανεβαίνει σιγά-σιγά, το wafer εισέρχεται στον καμίνο καρβιδίου πυριτίου για επεξεργασία. Μετά την ολοκλήρωση της αντίδρασης, το wafer πρέπει επίσης να χαμηλώσει σιγά-σιγά, προκειμένου να αποφευχθεί η λύγισμα ή ρωγμές λόγω διαφορών θερμοκρασίας. Η σχεδίαση των κάθετων σωλήνων καμίνου είναι ευεργετική για την εξοικονόμηση χώρου και ενδέχεται να έχει καλύτερα αποτελέσματα αντίδρασης σε ορισμένες διεργασίες
Ειδικές προδιαγραφές
KCE® SiSiC/RBSiC Τεχνικό φυλλάδιο
| Τεχνικές Παράμετροι | Μονάδα | Τιμή |
| Περιεκτικότητα σε Καρβίδιο του Πυριτίου | % | 85 |
| Περιεκτικότητα σε ελεύθερο πυρίτιο | % | 15 |
| Όγκος Βάρους 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Ανοιχτή πορώδης | Όγκος % | 0 |
| Σκληρότητα HK | kg/mm² | 2600 |
| Αντοχή σε Κάμψη 20°C | ΜPa | 250 |
| Αντοχή σε Κάμψη 1200°C | ΜPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Συντελεστής Θερμικής Διαστολής) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Θερμική Αγωγιμότητα 1000°C | W/m.K | 45 |
| Στατικός 20°C (Μέτρο Ελαστικότητας) | ΓΔΠ | 330 |
| Θερμοκρασία εργασίας | °C | 1300 |
| Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας (αέρας) | °C | 1380 |
Εφαρμογές
Ο σωλήνας καμίνου από πυρίτιο καρβίδιο με τη μέθοδο Reaction sintered KCE® για εξοπλισμό ημιαγωγών αποτελεί ένα από τα βασικά συστατικά της διαδικασίας παραγωγής ημιαγωγών. Οι σωλήνες καμίνου έχουν ευρεία χρήση σε διεργασίες ημιαγωγών, όπως διάχυση, ενσωμάτωση, οξείδωση, εναπόθεση, επαναφορά και συμπύκνωση. Αυτές οι διεργασίες είναι κρίσιμες για την απόδοση και την ποιότητα των πλακών ημιαγωγών. Οι σωλήνες καμίνου από πυρίτιο καρβίδιο χρησιμοποιούνται συνήθως σε εξοπλισμό όπως κάμινοι οξείδωσης-διάχυσης ημιαγωγών, LPCVD και κάμινοι επαναφοράς.
Πλεονεκτήματα
Οι σωλήνες καμίνου πυριτίου καρβιδίου βιομηχανικής ποιότητας για ημιαγωγούς διαθέτουν υψηλή καθαρότητα, ανθεκτικότητα σε υψηλές θερμοκρασίες και καλή μακροπρόθεσμη σταθερότητα. Διαθέτουν ένα λεπτό φιλμ από υλικό πυριτίου καρβιδίου υψηλής καθαρότητας, το οποίο αποτρέπει την εισαγωγή ακαθαρσιών και μειώνει τη ρύπανση του περιβάλλοντος κατά τη διαδικασία παρασκευής. Είναι κατάλληλοι για διεργασίες που απαιτούν υψηλό βαθμό καθαρισμού.
