EN
বর্ণনা
অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামে ব্যবহৃত KCE® রিঅ্যাকশন-সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড বায়ুমণ্ডলীয় চুলার নলগুলি মূলত দুটি প্রকারে বিভক্ত: অনুভূমিক এবং উল্লম্ব।
অনুভূমিক চুলার নল: এই ধরনের চুলার নলে, ওয়াফারটি সিলিকন কার্বাইডের তৈরি ওয়াফার ডিঙ্গিতে রাখা হয়, যা পরে সিসি-এর তৈরি একটি বাহক প্যাডেলের উপর স্থাপন করা হয়। বাহক প্যাডেলটি ক্রিস্টাল ডিঙ্গি এবং ওয়াফার লোড করার জন্য দায়ী এবং সম্পূর্ণটি চুলার নলের মধ্যে ঠেলে দেয়। চুলার নলের স্থির তাপমাত্রার অঞ্চলে, ওয়াফারটি প্রয়োজনীয় রাসায়নিক বিক্রিয়া অনুষ্ঠিত করে। বিক্রিয়া শেষ হওয়ার পর, ওয়াফারটিকে ধীরে ধীরে বাইরে টেনে আনা হয় যাতে চুলার ভিতরে ও বাইরের তাপমাত্রার পার্থক্যের কারণে বাঁকা হওয়া বা ফাটল ধরা এড়ানো যায়। অনুভূমিক চুলার নলের ডিজাইন ওয়াফারকে বিক্রিয়ার সময় ভালো সমরূপতা এবং স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে সাহায্য করে।
উল্লম্ব চুলার নল: অনুভূমিক চুলার নলের বিপরীতে, উল্লম্ব চুলার নলে ওয়াফারগুলি একটি সিলিকন কার্বাইড টাওয়ারের উপর স্থাপন করা হয়। টাওয়ারটি ধীরে ধীরে উপরে উঠার সাথে সাথে ওয়াফারটি সিলিকন কার্বাইড চুলার নলে প্রক্রিয়াজাত হওয়ার জন্য প্রবেশ করে। বিক্রিয়া শেষ হওয়ার পর, তাপমাত্রার পার্থক্যের কারণে বাঁকা বা ফাটা রোধ করতে ওয়াফারটিকেও ধীরে ধীরে নিচে নামানো প্রয়োজন। নির্দিষ্ট কিছু প্রক্রিয়ায় স্থান বাঁচানোর পাশাপাশি ভালো বিক্রিয়ার ফলাফল পাওয়ার জন্য উল্লম্ব চুলার নলের ডিজাইন উপকারী।
স্পেসিফিকেশন
KCE® SiSiC/RBSiC প্রযুক্তিগত তথ্য শীট
| টেকনিক্যাল প্যারামিটার | ইউনিট | মান |
| সিলিকন কার্বাইড সামগ্রী | % | 85 |
| মুক্ত সিলিকন সামগ্রী | % | 15 |
| বাল্ক ঘনত্ব 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| খোলা ছিদ্রযুক্ততা | আয়তন % | 0 |
| কঠোরতা HK | কেজি/মিমি² | 2600 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 20°C | এমপিএ | 250 |
| ফ্লেক্সুরাল শক্তি 1200°C | এমপিএ | 280 |
| 20 – 1000°C (তাপীয় প্রসারণের সহগ) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| তাপ পরিবাহিতা 1000°C | ওয়াট/মি.কে | 45 |
| স্ট্যাটিক 20°C (ইলাস্টিসিটির মডুলাস) | GPa | 330 |
| কাজের তাপমাত্রা | °C | 1300 |
| সর্বোচ্চ পরিষেবা তাপমাত্রা (বাতাস) | °C | 1380 |
অ্যাপ্লিকেশন
অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামের জন্য KCE® রিঅ্যাকশন-সিন্টারড সিলিকন কার্বাইড চুলার নল অর্ধপরিবাহী উৎপাদন প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জাম। অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে চুলার নলগুলির ব্যাপক অ্যাপ্লিকেশন রয়েছে, যার মধ্যে রয়েছে বিস্তার, ড্রাইভ-ইন, জারণ, অধঃক্ষেপণ, অ্যানিলিং এবং সিন্টারিং। অর্ধপরিবাহী ওয়েফারগুলির কার্যকারিতা এবং গুণমানের জন্য এই প্রক্রিয়াগুলি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। সিলিকন কার্বাইড চুলার নলগুলি সাধারণত অর্ধপরিবাহী জারণ বিস্তার চুলা, LPCVD এবং অ্যানিলিং চুলার মতো সরঞ্জামগুলিতে ব্যবহৃত হয়।
সুবিধা
অর্ধপরিবাহী গ্রেড সিলিকন কার্বাইড চুলার নলগুলির উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ এবং ভালো দীর্ঘমেয়াদী স্থিতিশীলতা রয়েছে। এতে উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিলিকন কার্বাইড উপাদানের একটি পাতলো আস্তরণ থাকে, যা দূষণকারী বস্তু প্রবেশ রোধ করে এবং প্রস্তুতি প্রক্রিয়ার সময় পরিবেশ দূষণ কমায়। এগুলি উচ্চ পরিষ্কারতা প্রয়োজন এমন প্রক্রিয়াগুলির জন্য উপযুক্ত।
