EN
Opis
Rury do pieców atmosferycznych z reakcyjnie spiekanego węglika krzemu KCE® stosowane w urządzeniach półprzewodnikowych dzielą się głównie na dwa typy: poziome i pionowe.
Pozioma rura pieca: W tym typie rury pieca płytkę umieszcza się na łódzce nośnej z węglika krzemu, która następnie jest umieszczana na pałąku nośnym wykonanym z SiC. Pałek nośny odpowiada za załadowanie łodzi kryształowej i płytki oraz wprowadzenie ich razem do wnętrza rury pieca. W strefie o stałej temperaturze płytka poddawana jest wymaganym reakcjom chemicznym. Po zakończeniu reakcji płytka jest powoli wysuwana, aby uniknąć wygięć lub pęknięć spowodowanych różnicami temperatury wewnątrz i na zewnątrz pieca. Projekt poziomej rury pieca umożliwia płytce zachowanie dobrej jednorodności i stabilności w trakcie procesu reakcji.
Rura pieca pionowego: W przeciwieństwie do rur pieców poziomych, płytki w piecach pionowych umieszczane są na wieży z węglika krzemu. Płytka dociera do rury pieca z węglikiem krzemu w miarę powolnego podnoszenia się wieży. Po zakończeniu reakcji płytkę należy również powoli opuścić, aby zapobiec wyginaniu lub pękaniu spowodowanym różnicami temperatur. Projekt rur pieca pionowego jest korzystny pod względem oszczędzania przestrzeni i może zapewniać lepsze efekty reakcji w niektórych procesach
Specyfikacje
Karta danych technicznych KCE® SiSiC/RBSiC
| Parametry techniczne | Jednostka | Wartość |
| Zawartość węglika krzemu | % | 85 |
| Zawartość wolnego krzemu | % | 15 |
| Gęstość objętościowa 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Otwarta porowatość | Vol % | 0 |
| Twardość HK | kg/mm² | 2600 |
| Wytrzymałość na zginanie 20°C | MPa | 250 |
| Wytrzymałość na zginanie 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Współczynnik rozszerzalności cieplnej) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Przewodność cieplna 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statyczny 20°C (moduł sprężystości) | GPA | 330 |
| Temperatura pracy | °C | 1300 |
| Maks. temperatura pracy (powietrze) | °C | 1380 |
Zastosowania
Rura piecową z reakcyjnie spiekanego węglika krzemu KCE® do urządzeń półprzewodnikowych jest jednym z kluczowych elementów w procesie produkcji półprzewodników. Rury piecowe znajdują szerokie zastosowanie w procesach półprzewodnikowych, w tym dyfuzji, wprowadzaniu domieszek, utlenianiu, osadzaniu, wyżarzaniu i spiekaniu. Procesy te są kluczowe dla wydajności i jakości płytek półprzewodnikowych. Rury piecowe z węglika krzemu są zwykle stosowane w urządzeniach takich jak piece do utleniania i dyfuzji półprzewodników, LPCVD oraz piece do wyżarzania.
Zalety
Rury piecowe z węglika krzemu o stopniu półprzewodnikowym charakteryzują się wysoką czystością, odpornością na wysoką temperaturę oraz dobrą długoterminową stabilnością. Posiadają cienką warstwę materiału węglika krzemu o wysokiej czystości, co zapobiega wprowadzaniu zanieczyszczeń i zmniejsza zanieczyszczenie środowiska podczas procesu wytwarzania. Są odpowiednie do procesów wymagających wysokiego stopnia czystości.
