EN
Leírás
KCE® Reakciósan szinterezett szilíciumkarbid atmoszférikus kemencécsövek, amelyek félvezetőberendezésekben használatosak, elsősorban két típusra oszthatók: vízszintes és függőleges.
Vízszintes kemencetartály: Ezen típusú kemencetartályban a lemezt egy szilíciumkarbid lemezcsónakba helyezik, amelyet aztán egy SiC anyagú hordozólapátra tesznek. A hordozólapát felelős a kristálycsónak és a lemez betöltéséért, majd együttesen betolja őket a kemencetartályba. A kemencetartály állandó hőmérsékletű zónájában a lemez a szükséges kémiai reakciókon megy keresztül. A reakció befejeztével a lemezt szintén lassan húzzák ki, hogy elkerüljék a lemez deformálódását vagy repedését a kemence belső és külső hőmérséklete közötti különbség miatt. A vízszintes kemencetartály tervezése lehetővé teszi, hogy a lemez a reakciós folyamat során jó egyenletességet és stabilitást tartson fenn.
Függőleges kemencetartály: A vízszintes kemencetartályoktól eltérően a lemezek a függőleges kemencetartályokban egy szilíciumkarbid toronyra kerülnek. A torony lassú emelkedésével a lemez belép a szilíciumkarbid kemencetartályba feldolgozásra. A reakció befejeztével a lemezt is lassan le kell ereszteni, hogy megelőzzük a hőmérsékletkülönbségből adódó deformálódást vagy repedést. A függőleges kemencetartályok tervezése előnyös a helytakarékosság szempontjából, és bizonyos folyamatokban jobb reakciós hatást is elérhet.
Specifikációk
KCE® SiSiC/RBSiC Műszaki adatlap
| Műszaki paraméterek | Egység | Érték |
| Szilíciumkarbid tartalom | % | 85 |
| Szabad szilícium tartalom | % | 15 |
| Tömegsűrűség 20°C-on | g/cm³ | ≥3.02 |
| Nyitott porozitás | Vol % | 0 |
| Keménység HK | kg/mm² | 2600 |
| Hajlítószilárdság 20°C | MPA | 250 |
| Hajlítószilárdság 1200°C | MPA | 280 |
| 20 – 1000°C (Hőtágulási együttható) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Hővezető képesség 1000°C | W/m·K | 45 |
| Statikus 20°C (Rugalmassági modulus) | GPa | 330 |
| Működési hőmérséklet | °C | 1300 |
| Max. üzemeltetési hőmérséklet (levegőben) | °C | 1380 |
Alkalmazások
A KCE® Reakciós módszerrel előállított szilíciumkarbid kemencéscső félvezetőberendezésekhez a félvezetőgyártás egyik kulcsfontosságú eszköze. A kemencéscsövek széles körben alkalmazhatók félvezető eljárásokban, beleértve a diffúziót, bevitelt, oxidációt, leülepítést, hőkezelést és sinterelést. Ezek az eljárások döntő fontosságúak a félvezető lemezek teljesítménye és minősége szempontjából. A szilíciumkarbid kemencéscsöveket általában olyan berendezésekben használják, mint a félvezető oxidációs diffúziós kemencék, LPCVD és hőkezelő kemencék.
Előnyök
A félvezetőipari tisztaságú szilíciumkarbid kemencéscsövek magas tisztaságúak, hőállók és jó hosszú távú stabilitást mutatnak. Vékony, nagytisztaságú szilíciumkarbid réteg fedi őket, amely megakadályozza a szennyeződések bekerülését, és csökkenti a környezeti terhelést az előállítás során. Ezek a csövek alkalmasak nagy tisztaságot igénylő folyamatokhoz.
