EN
Təsvir
Yarımkondensator avadanlığında istifadə olunan KCE® Reaksiya ilə sinterləşdirilmiş silisium karbid atmosfer pelet boruları əsasən iki növə bölünür: üfüqi və şaquli.
Üfüqi peç borusu: Bu növ peç borularında, lövhə silisium karbiddən ibarət lövhə qayıq üzərinə yerləşdirilir, daha sonra isə SiC-dən hazırlanmış daşıyıcı paddla yerləşdirilir. Daşıyıcı paddla kristal qayığı və lövhəni yükləməkdən və onları birlikdə peç boruna itələməkdən məsuliyyət daşıyır. Peç borunun sabit temperatur zonasında lövhə tələb olunan kimyəvi reaksiyalardan keçir. Reaksiya başa çatdıqdan sonra lövhə temperatur fərqindən qaynaqlanan əyilmə və ya çatlamaların qarşısını almaq üçün yavaş-yavaş xaric edilir. Üfüqi peç borunun dizaynı lövhənin reaksiya prosesi boyu yaxşı bircinsliyi və sabitliyi saxlamasına imkan verir.
Şaquli peç boruları: Üfüqi peç borularından fərqli olaraq, şaquli peç borularında plastinalar silisium karbid qülləsinin üstünə qoyulur. Reaksiya başa çatdıqdan sonra, temperatur fərqindən qaynaqlanan əyilmə və ya çatlamaların qarşısını almaq üçün plastina yavaş-yavaş aşağı salınmalıdır. Şaquli peç borularının dizaynı məkandan qənaət etməyə kömək edir və müəyyən proseslərdə daha yaxşı reaksiya effekti verə bilər
Texniki xarakteristikalar
KCE® SiSiC/RBSiC Texniki Məlumat Vərəqi
| Texniki Parametrlər | Vahid | Qiymət |
| Silisium karbidin miqdarı | % | 85 |
| Silisiumun sərbəst miqdarı | % | 15 |
| Həcmi sıxlıq 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Açıq porozite | Həcm % | 0 |
| Sərtlik HK | kq/mm² | 2600 |
| Eynək möhkəmliyi 20°C | Mpa | 250 |
| Eynək möhkəmliyi 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Termal genişlənmə əmsalı) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Termal keçiricilik 1000°C | Vt/m·K | 45 |
| Statik 20°C (Elastiklik Modulu) | GPa | 330 |
| Işləmə temperaturu | °C | 1300 |
| Maks. İş temp. (hava) | °C | 1380 |
Tətbiq sahələri
Yarımkondensator avadanlıqları üçün KCE® Reaksiya ilə sinterlənmiş silisium karbid peç boruları yarımkondensator istehsal prosesində əsas avadanlıqlardan biridir. Peç boruları diffuziya, sürüşdürmə, oksidləşmə, çökmə, temperləmə və sinterləmə daxil olmaqla yarımkondensator proseslərində geniş tətbiq sahəsinə malikdir. Bu proseslər yarımkondensator lövhələrinin performansı və keyfiyyəti üçün vacibdir. Silisium karbid peç boruları adətən yarımkondensator oksidləşmə-diffuzion peçləri, LPCVD və temperleme peçləri kimi avadanlıqlarda istifadə olunur.
Üstünlüklər
Yarımkondensator sinifli silisium karbid peç boruları yüksək təmizlik, yüksək temperatur müqaviməti və yaxşı uzunmüddətli sabitliyə malikdir. Bu borular yüksək təmizlikli silisium karbid materialından ibarət nazik bir təbəqəyə malikdir ki, bu da çirkləndiricilərin qarışmasını aradan qaldırır və hazırlıq prosesi zamanı ekoloji çirklənməni azaldır. Bu borular yüksək təmizlik tələb olunan proseslər üçün uyğundur.
