EN
תֵאוּר
צינורות תנור אטמוספריים מקרبيد סיליקון משובץ-תגובה KCE® המשמשים בציוד לייצור שבבים מחולקים בעיקר לשני סוגים: אופקיים וברחבי.
צינור תנור אופקי: בסוג זה של צינור תנור, המיכל מונח על סירה משולבת מסיליקון קרביד, אשר מונחת לאחר מכן על מחבטי שינוע שעשוי SiC. המחבטי השינוע אחראי על טעינת סירת הגבישים והמיכל, ודוחף אותם לתוך צינור התנור כיחידה אחת. באזור הטמפרטורה הקבועה של צינור התנור, עובר המיכל את התגובות הכימיות הנדרשות. לאחר שה תגובה נגמרה, המיכל ימשך לאט החוצה כדי להימנע מעקיצה או שבר всיבת הבדלים בтемператур בין פנים לחוץ התנור. העיצוב של הצינור האופקי מאפשר למיכל לשמור על אחידות ויציבות טובות במהלך תהליך התגובה.
צינור תנור אנכי: בניגוד לצינורות תנור אופקיים, וויפרים בצינורות תנור אנכי מונחים על מגדל קרביד סיליקון. הוואיפר נכנס לצינור התנור של קרביד הסיליקון לעיבוד כאשר המגדל עולה לאט. לאחר שהתגובה מסתיימת, יש להוריד את הוואיפר לאט כדי למנוע עיוות או שבר всיבות בהפרש הטמפרטורות. העיצוב של צינורות תנור אנכי משתלם לחיסכון במרחב ועשוי לספק תוצאות תגובה טובות יותר בתהליכים מסוימים
תכונות
דוח טכני של KCE® SiSiC/RBSiC
| פרמטרים טכניים | יחידה | ערך |
| תכולת סיליקון קרביד | % | 85 |
| תכולת סיליקון חופשי | % | 15 |
| צפיפות נפחית 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ספיגות פתוחה | נפח % | 0 |
| קשיות HK | גרם/מ"מ² | 2600 |
| прочות כפיפה 20 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 250 |
| Прочות כפיפה 1200 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 280 |
| 20 – 1000 מעלות צלזיוס (מקדם ההתפשטות התרמית) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| מוליכות תרמית 1000 מעלות צלזיוס | W/מ"ק | 45 |
| סטטי 20°C (מודולוס האלסטיות) | GPa | 330 |
| טמפרטורת עבודה | °C | 1300 |
| טמפרטורת עבודה מקסימלית (אוויר) | °C | 1380 |
יישומים
צינור תנור סיליקון קרביד שטופס בתהליך תגובה (KCE®) לציוד ייצור שבבים הוא אחד מהרכיבים המרכזיים בתהליך ייצור השבבים. לצינורות תנור יש מגוון שימושים בתהליכי ייצור שבבים, כולל דיפוזיה, הדחקה פנימה, חימצון, שיקוע, היגנת תermal ואיטום. תהליכים אלו חשובים לביצועים ואיכות של וויפרים סיליקוניים. צינורות סיליקון קרביד משמשים בדרך כלל בציוד כמו תנורי חימצון ודיפוזיה, LPCVD, ותנורי היגנה.
יתרונות
לצינורות תנור סיליקון קרביד המיוצרים לשבבים יש נקיון גבוה, עמידות בטמפרטורות גבוהות ויציבות ארוכת טווח. הם מצופים בשכבה דקה של חומר סיליקון קרביד בנקיון גבוה, מה שמונע הכנסת זיהומים ומצמצם את הזיהום הסביבתי בתהליך הייצור. הם מתאימים לתהליכים הדורשים ניקיון גבוה.
