EN
Сипаттама
Жартылай өткізгіштік жабдықтарда қолданылатын KCE® Реакциялық сіңірілген силикон карбиді атмосфералық пеш түтіктері негізінен екі түрге бөлінеді: көлденең және тік.
Горизонталдық пеш түбірі: Бұл пеш түбірінің түрінде, пластинка кремний карбидтен жасалған ыдысқа орнатылады, содан кейін ол SiC-дан жасалған тасымалдауыш қасыққа орналастырылады. Тасымалдауыш қасық кристалл ыдысты және пластинканы тиеу үшін жауапты, содан кейін оларды бірге пеш түбіріне итеріп енгізеді. Пеш түбірінің тұрақты температура аймағында пластинка қажетті химиялық реакциялардан өтеді. Реакция аяқталғаннан кейін, пластинканы пештің ішкі және сыртқы жағындағы температура айырмашылығынан пайда болатын бүгілу немесе сынуды болдырмау үшін баяу шығарады. Горизонталдық пеш түбірінің конструкциясы пластинканың реакция процесі кезінде жақсы біркелкілік пен тұрақтылықты сақтауын қамтамасыз етеді.
Вертикальдық пеш түтігі: Горизонталдық пеш түтіктерден өзгеше, вертикальдық пеш түтіктердегі пластинкалар кремний карбидінен жасалған башняның үстіне орнатылады. Башня баяу көтерілгенде, пластиналар өңдеу үшін кремний карбидінен жасалған пеш түтігіне енеді. Реакция аяқталғаннан кейін температура айырмашылығынан пластиналардың иілуін немесе сынбауын болдырмау үшін оларды да баяу төмендету қажет. Вертикальдық пеш түтіктердің дизайны кеңістікті үнемдеуге пайдалы және кейбір процестерде жақсырақ реакция әсерін тигізуі мүмкін
Сәйкестіктер
KCE® SiSiC/RBSiC техникалық деректер парағы
| Техникалық параметрлер | Бірлік | Мәні |
| Кремний карбидінің мөлшері | % | 85 |
| Бос кремний мөлшері | % | 15 |
| Көлемдік тығыздық 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
| Ашық құрғақтық | Көлем % | 0 |
| Қаттылық HK | кг/мм² | 2600 |
| Иілу беріктігі 20°C | Мпа | 250 |
| Иілу беріктігі 1200°C | Мпа | 280 |
| 20 – 1000°C (Жылу кеңею коэффициенті) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Жылу өткізгіштік 1000°C | Вт/м·К | 45 |
| Статикалық 20°C (Созылу модулі) | ГПа | 330 |
| Жұмыс температурасы | °C | 1300 |
| Макс. пайдалану темп. (ауа) | °C | 1380 |
Қолданбалар
Жартылай өткізгіш құрылғылар үшін KCE® Реакциялық силикон карбид пеш түтіктері жартылай өткізгіштерді өндіру процесінің бірнеше маңызды құрал-жабдықтарының бірі болып табылады. Пеш түтіктері диффузия, енгізу, тотығу, буландыру, темперлеу және спекление сияқты жартылай өткізгіш процестерінде кеңінен қолданылады. Бұл процестер жартылай өткізгіш пластинкалардың өнімділігі мен сапасы үшін өте маңызды. Силикон карбид пеш түтіктері әдетте жартылай өткізгіштердің тотығу-диффузиялық пештері, LPCVD және темперлеу пештері сияқты құралдарда қолданылады.
Артықшылықтар
Жартылай өткізгіш сортты силикон карбид пеш түтіктері жоғары тазалыққа, жоғары температураға төзімділікке және жақсы ұзақ мерзімді тұрақтылыққа ие. Олар жоғары тазалықтағы силикон карбид материалының жұқа қабатынан тұрады, бұл дайындау процесі кезінде қоспалардың енуін болдырмауға және қоршаған ортаны ластауды азайтуға мүмкіндік береді. Олар жоғары тазалықты талап ететін процестерге сәйкес келеді.
