EN
คำอธิบาย
KCE® ใบพัด/ใบสกรูซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) แบบคานยื่นที่ผลิตด้วยกระบวนการรีแอคชันซินเตอร์ โดยการหล่อหรือพิมพ์ 3 มิติ จากนั้นทำให้แข็งด้วยการพ่นทราย และกลึงขึ้นรูปอย่างแม่นยำตามข้อกำหนดของแบบร่าง เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดการใช้งาน
สเปก
แผ่นข้อมูลทางเทคนิค KCE® SiSiC/RBSiC
| ข้อมูลทางเทคนิค | หน่วย | ค่า |
| ปริมาณคาร์ไบด์ซิลิคอน | % | 85 |
| ปริมาณซิลิคอนอิสระ | % | 15 |
| ความหนาแน่นรวมที่ 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| ความพรุนเปิด | ปริมาณร้อยละ | 0 |
| ความแข็ง HK | กิโลกรัม/มิลลิเมตร² | 2600 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 20°C | เอ็มพีเอ | 250 |
| ความแข็งแรงดัดที่ 1200°C | เอ็มพีเอ | 280 |
| 20 – 1000°C (สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อน) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| การนำความร้อนที่ 1000°C | W/m.k | 45 |
| อุณหภูมิสูงสุดที่ใช้งานได้ (ในอากาศ) | GPa | 330 |
| อุณหภูมิในการทำงาน | °C | 1300 |
| อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน (อากาศ) | °C | 1380 |
Applications
ใบพัด/ใบสกรูซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) แบบคานยื่นที่ผลิตด้วยกระบวนการรีแอคชันซินเตอร์ เป็นส่วนประกอบสำคัญของระบบโหลดเซลล์แสงอาทิตย์
โดยทั่วไปใช้กับอุปกรณ์ PECVD ในอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ หรือใช้ในการลำเลียงและขนย้ายแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่อุณหภูมิสูงในอุปกรณ์ LPCVD และอุปกรณ์การแพร่ออกไซด์
ข้อดี
ใบพัดหรือใบพโรเพลเลอร์แบบคานยื่นจากซิลิคอนคาร์ไบด์มีสมรรถนะที่เสถียร ไม่บิดงอในสภาวะอุณหภูมิสูง มีความสามารถในการรองรับเวเฟอร์ได้มาก ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วทั้งการระบายความร้อนและการให้ความร้อน มีสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ และมีอายุการใช้งานยาวนาน
อุณหภูมิการทำงานสูงสุดสามารถสูงได้ถึง 1380 ℃; การขยายตัวจากความร้อนต่ำ; มีความคงตัวต่อแรงกระแทกจากความร้อนอย่างยิ่ง; สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนของใบพโรเพลเลอร์แบบคานยื่นและชั้นเคลือบ LPCVD มีค่าใกล้เคียงกัน และการประยุกต์ใช้งานในกระบวนการ LPCVD ช่วยยืดอายุรอบการบำรุงรักษาและการทำความสะอาดออกไปอย่างมาก รวมทั้งลดมลสารได้อย่างมีนัยสำคัญ
