תֵאוּר
KCE® דפנות מוטת/דפנות משופרות בתהליך שיזור תגובה של סיליקון קרביד, שנוצרות על ידי יציקה או תהליך הדפסה תלת-ממדית, שיזור תגובה, ולאחר מכן טיפוס חול ועיבוד מדויק לפי דרישות התרשים כדי לעמוד בדרישות השימוש.
תכונות
דוח טכני של KCE® SiSiC/RBSiC
פרמטרים טכניים | יחידה | ערך |
תכולת סיליקון קרביד | % | 85 |
תכולת סיליקון חופשי | % | 15 |
צפיפות נפחית 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
ספיגות פתוחה | נפח % | 0 |
קשיות HK | גרם/מ"מ² | 2600 |
прочות כפיפה 20 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 250 |
Прочות כפיפה 1200 מעלות צלזיוס | מגה פסקל | 280 |
20 – 1000 מעלות צלזיוס (מקדם ההתפשטות התרמית) | 10–6 K–1 | 4.5 |
מוליכות תרמית 1000 מעלות צלזיוס | W/מ"ק | 45 |
סטטי 20 מעלות צלזיוס (מודול האלסטיות) | GPa | 330 |
טמפרטורת עבודה | °C | 1300 |
טמפרטורת עבודה מקסימלית (אוויר) | °C | 1380 |
יישומים
דפנות מוטת/דפנות משופרות בתהליך שיזור תגובה של סיליקון קרביד הן רכיב מרכזי במערכת טעינת תאים פוטוולטאיים.
בדרך כלל בשימוש לציוד PECVD בתעשיית האנרגיה הסולרית לפוטוולטהיק, או לשינוע ותעבורה של סיבי סיליקון בטמפרטורות גבוהות בציוד LPCVD ובציוד דיפוזיה של חומרים חמצניים.
יתרונות
להטחנות/פרופלרים מקרبيد סיליקון יש ביצועים יציבים, הן אינן מתעוותות בסביבות בטמפרטורה גבוהה, בעלות על קיבולת טעינה גדולה של וויפר, עמידות בפני קירור וחימום מהירים, עם מקדם נמוך של התפשטות תרמית, ובעלות על חיים ארוכים.
הטמפרטורה המаксימלית להפעלה יכולה להגיע ל-1380 ℃; התפשטות תרמית נמוכה; יציבות גבוהה במיוחד בפני הלם תרמי; מקדם ההתפשטות התרמית של הפרופלר הקונסולי והציפוי LPCVD דומה, והשימוש בהן ב-LPCVD מאריך בצורה משמעותית את מחזור התפעול, התחזוקה והניקיון, ומפחית באופן משמעותי את הזיהום.