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Beschreibung
KCE® Reaktionssinterte Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel/Propeller, hergestellt durch Gieß- oder 3D-Druckverfahren, reaktionssintert, anschließend sandgestrahlt und präzisionsgefertigt gemäß den Zeichnungsvorgaben, um die Einsatzanforderungen zu erfüllen.
TECHNISCHE DATEN
KCE® SiSiC/RBSiC Technisches Datenblatt
| Technische Parameter | Einheit | Wert |
| Siliziumkarbid-Gehalt | % | 85 |
| Freier Silizium-Gehalt | % | 15 |
| Rohdichte bei 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Offene Porosität | Vol % | 0 |
| Härte HK | kg/mm² | 2600 |
| Biegefestigkeit 20°C | Mpa | 250 |
| Biegefestigkeit 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (Wärmeausdehnungskoeffizient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Wärmeleitfähigkeit 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statisch 20°C (Elastizitätsmodul) | GPa | 330 |
| Betriebstemperatur | °C | 1300 |
| Max. Einsatztemperatur (Luft) | °C | 1380 |
Anwendungen
Reaktionssinterte Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel/Propeller sind eine Schlüsselkomponente des Beladesystems für Photovoltaikzellen.
Üblicherweise im Bereich der photovoltaischen Solarenergie für PECVD-Anlagen oder zum Tragen und Transportieren von Siliziumwafern bei hohen Temperaturen in LPCVD-Anlagen und Oxid-Diffusionsanlagen eingesetzt.
Vorteile
Siliziumkarbid-Auslegerpaddel/Propeller weisen eine stabile Leistung auf, verformen sich nicht in Hochtemperaturumgebungen, haben eine hohe Wafer-Ladekapazität, sind beständig gegen schnelle Abkühlung und Erwärmung, weisen einen geringen Wärmeausdehnungskoeffizienten auf und haben eine lange Lebensdauer.
Die maximale Betriebstemperatur kann 1380 ℃ erreichen; Geringe Wärmeausdehnung; äußerst starke Beständigkeit gegen thermische Schocks; Der Wärmeausdehnungskoeffizient von Auslegerpropeller und LPCVD-Beschichtung ist ähnlich, und ihre Anwendung in LPCVD verlängert den Wartungs- und Reinigungszyklus erheblich und reduziert Schadstoffe deutlich.
