EN
Περιγραφή
KCE® Προβόλια/έλικες πυριτίου άνθρακα (SiC) μονόπλευρης στήριξης με αντιδραστικό συμπυκνωτικό τύπο, δημιουργούνται με χύτευση ή διαδικασία 3D εκτύπωσης, υφίστανται αντιδραστική συμπύκνωση, στη συνέχεια επεξεργάζονται με βολή άμμου και ακριβείς μηχανουργικές λειτουργίες σύμφωνα με τις απαιτήσεις του σχεδίου, ώστε να πληρούνται οι απαιτήσεις χρήσης.
Ειδικές προδιαγραφές
KCE® SiSiC/RBSiC Τεχνικό φυλλάδιο
| Τεχνικές Παράμετροι | Μονάδα | Τιμή |
| Περιεκτικότητα σε Καρβίδιο του Πυριτίου | % | 85 |
| Περιεκτικότητα σε ελεύθερο πυρίτιο | % | 15 |
| Όγκος Βάρους 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| Ανοιχτή πορώδης | Όγκος % | 0 |
| Σκληρότητα HK | kg/mm² | 2600 |
| Αντοχή σε Κάμψη 20°C | ΜPa | 250 |
| Αντοχή σε Κάμψη 1200°C | ΜPa | 280 |
| 20 – 1000°C (Συντελεστής Θερμικής Διαστολής) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Θερμική Αγωγιμότητα 1000°C | W/m.K | 45 |
| Στατική 20°C (Μέτρο Ελαστικότητας) | ΓΔΠ | 330 |
| Θερμοκρασία εργασίας | °C | 1300 |
| Μέγιστη Θερμοκρασία Λειτουργίας (αέρας) | °C | 1380 |
Εφαρμογές
Τα προβόλια/έλικες πυριτίου άνθρακα (SiC) μονόπλευρης στήριξης με αντιδραστικό συμπυκνωτικό τύπο αποτελούν σημαντικό συστατικό του συστήματος φόρτωσης φωτοβολταϊκών κυψελών.
Χρησιμοποιούνται συνήθως για εξοπλισμό PECVD στη βιομηχανία φωτοβολταϊκής ηλιακής ενέργειας, ή για μεταφορά και μεταφορά πλακών πυριτίου σε υψηλές θερμοκρασίες σε εξοπλισμό LPCVD και εξοπλισμό διάχυσης οξειδίου.
Πλεονεκτήματα
Οι πτερύγια/έλικες από καρβίδιο πυριτίου έχουν σταθερή απόδοση, δεν παραμορφώνονται σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας, έχουν μεγάλη χωρητικότητα φόρτωσης wafer, αντέχουν σε γρήγορη ψύξη και θέρμανση, έχουν μικρό συντελεστή θερμικής διαστολής και μεγάλη διάρκεια ζωής.
Η μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας μπορεί να φτάσει τους 1380 ℃· Χαμηλή θερμική διαστολή· Εξαιρετικά ισχυρή σταθερότητα σε θερμικές αιφνιδιακές μεταβολές· Ο συντελεστής θερμικής διαστολής του έλικα cantilever και της επικάλυψης LPCVD είναι παρόμοιος, και η χρήση τους στην LPCVD επεκτείνει σημαντικά τον κύκλο συντήρησης και καθαρισμού και μειώνει σημαντικά τη ρύπανση.
