Описание
KCE® Пластинчатые лопасти/пропеллеры из реакционно-спеченного карбида кремния, изготовленные методом литья или 3D-печати, подвергнутые реакционному спеканию, затем обработанные струйной пескоструйной очисткой и прецизионной механической обработкой в соответствии с требованиями чертежей для соответствия эксплуатационным требованиям.
Характеристики
Технический паспорт KCE® SiSiC/RBSiC
Технические параметры | Единица | Значение |
Содержание карбида кремния | % | 85 |
Свободное содержание кремния | % | 15 |
Объемная плотность при 20°C | г/см³ | ≥3.02 |
Открытая пористость | Об. % | 0 |
Твердость HK | кг/мм² | 2600 |
Предел прочности при изгибе 20°C | МПа | 250 |
Предел прочности при изгибе 1200°C | МПа | 280 |
20 – 1000°C (Коэффициент теплового расширения) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Теплопроводность 1000°C | Вт/м·К | 45 |
Статический 20°C (Модуль упругости) | ГПа | 330 |
Рабочая температура | °C | 1300 |
Макс. рабочая температура (воздух) | °C | 1380 |
Применения
Реакционно-спеченные пластинчатые лопасти/пропеллеры из карбида кремния являются ключевым компонентом системы загрузки фотоэлектрических элементов.
Обычно используются для оборудования PECVD в отрасли фотогальванической солнечной энергии или для транспортировки кремниевых пластин при высоких температурах в оборудовании LPCVD и диффузионном оксидном оборудовании.
Преимущества
Пластины-консоли и пропеллеры из карбида кремния обладают стабильными характеристиками, не деформируются при высоких температурах, имеют большую грузоподъёмность для пластин, устойчивы к резкому охлаждению и нагреву, обладают малым коэффициентом теплового расширения и имеют длительный срок службы.
Максимальная рабочая температура может достигать 1380 ℃; низкое тепловое расширение; чрезвычайно высокая устойчивость к термическим ударам; коэффициент теплового расширения консольного пропеллера и покрытия LPCVD схож, благодаря чему их применение в LPCVD значительно удлиняет циклы обслуживания и очистки и существенно снижает количество загрязнений.