Beskrivelse
KCE® reaksjonssintret silisiumkarbid konsolpropeller, dannet ved støping eller 3D-printprosess, reaksjonssintret, deretter sandblåst og presisjonsbearbeidet i henhold til tegningskrav for å oppfylle brukskrav.
Spesifikasjoner
KCE® SiSiC/RBSiC Teknisk datablad
Tekniske parametere | Enhet | Verdi |
Silisiumkarbidinnhold | % | 85 |
Fritt silisiuminnhold | % | 15 |
Tetthet 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
Åpen porøsitet | Vol % | 0 |
Hardhet HK | kg/mm² | 2600 |
Bøyestyrke 20°C | MPa | 250 |
Bøyestyrke 1200°C | MPa | 280 |
20 – 1000°C (varmeutvidelseskoeffisient) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Termisk ledningsevne 1000°C | W/m.K | 45 |
Statisk 20°C (Elastisitetsmodul ) | GPa | 330 |
Arbeidstemperatur | °C | 1300 |
Maks. driftstemperatur (luft) | °C | 1380 |
Applikasjoner
Reaksjonssintret silisiumkarbid konsolpropeller er en nøkkelkomponent i lastingssystemet for solceller.
Vanligvis brukt til PECVD-utstyr i solenergiindustrien, eller til å bære og transportere silisiumwafer ved høye temperaturer i LPCVD-utstyr og oksyddiffusjonsutstyr.
Fordeler
Silisiumkarbid utileggspropeller har stabil ytelse, deformeres ikke i høye temperaturer, har stor wafer-lastekapasitet, er resistente mot rask avkjøling og oppvarming, har en liten varmeutvidelseskoeffisient og har lang levetid.
Den maksimale driftstemperaturen kan nå opp til 1380 ℃; Lav termisk utvidelse; Ekstremt god stabilitet mot termisk sjokk; Varmeutvidelseskoeffisienten for utileggspropell og LPCVD-beskyttelseslag er lik, og deres bruk i LPCVD forlenger betydelig vedlikeholds- og rengjøringsperioden og reduserer forurensningene betraktelig.