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説明
KCE® 反応焼結炭化ケイ素（SiC）片持ちパドル／プロペラは、鋳造または3D印刷プロセスで成形され、反応焼結後、図面の要求に従ってサンドブラスト処理および精密機械加工を施し、使用要件を満たしています。
仕様
KCE® SiSiC/RBSiC 技術データシート
| 技術仕様 | ユニット | 価値 |
| 炭化ケイ素含有量 | % | 85 |
| 遊離ケイ素含有量 | % | 15 |
| 体積密度 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| 開気孔率 | 体積% | 0 |
| 硬度 HK | kg/mm² | 2600 |
| 曲げ強度 20°C | Mpa | 250 |
| 曲げ強度 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C（熱膨張係数） | 10–6 K–1 | 4.5 |
| 熱伝導率 1000°C | W/m・k | 45 |
| 静的 20°C（弾性係数） | 平均 | 330 |
| 動作温度 | °C | 1300 |
| 最高使用温度（空気中） | °C | 1380 |
応用
反応焼結炭化ケイ素（SiC）片持ちパドル／プロペラは、太陽電池ローディングシステムの主要構成部品です。
通常、太陽光発電産業のPECVD装置、またはLPCVD装置および酸化物拡散装置における高温でのシリコンウエハーの搬送・輸送に使用されます。
利点
炭化ケイ素製の片持ちパドル／プロペラは、性能が安定しており、高温環境下でも変形せず、ウェーハのロード容量が大きく、急冷・急熱に強く、熱膨張係数が小さく、長寿命です。
最高使用温度は1380℃に達します。熱膨張が低く、非常に優れた耐熱衝撃性を有しています。片持ちプロペラとLPCVDコーティングの熱膨張係数が類似しているため、LPCVDでの使用によりメンテナンスおよび清掃周期が大幅に延長され、汚染物質を著しく低減します。
