Popis
KCE® reakčně slinované karbidové (SiC) konzolové lopatky/vrtule, vyrobené odléváním nebo 3D tiskem, následně reakčně slinované a poté pískované a přesně opracované podle požadavků výkresu, aby splňovaly provozní požadavky.
Specifikace
KCE® SiSiC/RBSiC Technický datový list
Technické parametry | Jednotka | Hodnota |
Obsah karbidu křemíku | % | 85 |
Obsah volného křemíku | % | 15 |
Objemová hmotnost 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
Otevřená pórovitost | Vol % | 0 |
Tvrdost HK | kg/mm² | 2600 |
Pevnost v ohybu 20°C | MPa | 250 |
Pevnost v ohybu 1200°C | MPa | 280 |
20 – 1000°C (součinitel tepelné roztažnosti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Tepelná vodivost 1000°C | W/m.k | 45 |
Statická 20°C (modul pružnosti) | GPa | 330 |
Pracovní teplota | °C | 1300 |
Max. provozní teplota (vzduch) | °C | 1380 |
Použití
Reakčně slinované karbidové (SiC) konzolové lopatky/vrtule jsou klíčovou součástí systému zavádění fotovoltaických článků.
Obvykle se používají pro zařízení PECVD ve fotovoltaickém průmyslu sluneční energie nebo pro přepravu a transport křemíkových waferů za vysokých teplot v zařízeních LPCVD a zařízeních pro oxidovou difuzi.
Výhody
Lopatky/vrtule z karbidu křemíku mají stabilní výkon, nezdeformují se ve vysokých teplotách, mají velkou nosnost waferu, jsou odolné vůči rychlému chlazení a ohřevu, mají malý koeficient tepelné roztažnosti a dlouhou životnost.
Maximální provozní teplota může dosáhnout 1380 ℃; Nízká tepelná roztažnost; Extrémně silná odolnost proti tepelnému šoku; Koeficient tepelné roztažnosti konzolové vrtule a LPCVD povlaku je podobný, jejich použití v LPCVD výrazně prodlužuje interval údržby a čištění a výrazně snižuje emise znečišťujících látek.