คำอธิบาย
เรือบรรทุกแผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์ เป็นชิ้นส่วนที่ทนต่ออุณหภูมิสูง ใช้ในหลอดเตาเพื่อวางแผ่นเวเฟอร์สำหรับการแปรรูปที่อุณหภูมิสูง เนื่องจากมีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อนทางเคมี และมีความเสถียรภาพทางความร้อนที่ดี จึงถูกใช้อย่างแพร่หลายในกระบวนการบำบัดความร้อนต่างๆ เช่น การแพร่กระจาย การออกซิเดชัน CVD การอบอ่อนตัว เป็นต้น
สเปก
แผ่นข้อมูลทางเทคนิค KCE® SiSiC/RBSiC
ข้อมูลทางเทคนิค | หน่วย | ค่า |
ปริมาณคาร์ไบด์ซิลิคอน | % | 85 |
ปริมาณซิลิคอนอิสระ | % | 15 |
ความหนาแน่นรวมที่ 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
ความพรุนเปิด | ปริมาณร้อยละ | 0 |
ความแข็ง HK | กิโลกรัม/มิลลิเมตร² | 2600 |
ความแข็งแรงดัดที่ 20°C | เอ็มพีเอ | 250 |
ความแข็งแรงดัดที่ 1200°C | เอ็มพีเอ | 280 |
20 – 1000°C (สัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อน) | 10–6 K–1 | 4.5 |
การนำความร้อนที่ 1000°C | W/m.k | 45 |
อุณหภูมิสูงสุดที่ใช้งานได้ (ในอากาศ) | GPa | 330 |
อุณหภูมิในการทำงาน | °C | 1300 |
อุณหภูมิสูงสุดในการใช้งาน (อากาศ) | °C | 1380 |
Applications
ในอุตสาหกรรมพลังงานใหม่ด้านเซลล์แสงอาทิตย์ วัสดุเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์กำลังกลายเป็นวัสดุหลักในกระบวนการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เช่น ภาชนะรอง กล่องบรรจุ และข้อต่อท่อ ซึ่งความต้องการในตลาดยังคงเพิ่มสูงขึ้น สำหรับอุตสาหกรรมพลังงานใหม่ด้านอิเล็กทรอนิกส์และเซลล์แสงอาทิตย์ เฟอร์นิเจอร์เตาเผาศิลิคอนคาร์ไบด์ถูกใช้เป็นชิ้นส่วนลำเลียงในเตาแพร่สารและเตาเผาเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของคุณสมบัติวัสดุภายใต้อุณหภูมิสูง ในด้านยานยนต์พลังงานใหม่ เฟอร์นิเจอร์เตาเผาศิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกถูกนำไปใช้ในกระบวนการเผาและอบชิ้นส่วนวัสดุขั้วบวก-ขั้วลบและอิเล็กโทรไลต์ของแบตเตอรี่ลิเธียมไอออน ซึ่งช่วยเพิ่มกำลังการผลิตของเตาและลดการใช้พลังงาน
เรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ถูกนำมาใช้ในอุตสาหกรรมโฟโตโวลเทก ในการกระบวนการผลิตเซลล์โฟโตโวลเทก เรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์จะใช้เพื่อขนย้ายแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน โดยมั่นใจได้ว่าแผ่นเวเฟอร์จะมีความมั่นคงและได้รับความร้อนอย่างสม่ำเสมอระหว่างการประมวลผล ด้วยเหตุที่เรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูง จึงสามารถนำความร้อนออกจากแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันความเสียหายที่อาจเกิดขึ้นจากความร้อนเกิน นอกจากนี้ ความเสถียรทางเคมีของเรือผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ยังช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะไม่เกิดปฏิกิริยาทางเคมีกับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนหรือวัสดุอื่นๆ ระหว่างกระบวนการผลิต ซึ่งอาจส่งผลกระทบต่อสมรรถนะของเซลล์โฟโตโวลเทก
ข้อดี
ด้วยคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน และการนำความร้อนที่ดี มันจึงมีบทบาทสำคัญในสาขาพลังงานแสงอาทิตย์ใหม่และยานยนต์ไฟฟ้า
เมื่อเทียบกับเรือควอตซ์ผลึกแบบดั้งเดิม เรือผลึกคาร์ไบด์ซิลิคอนมีความเสถียรภาพทางความร้อนและความแข็งแรงเชิงกลที่สูงกว่า ในสภาวะอุณหภูมิสูง เรือผลึกคาร์ไบด์ซิลิคอนไม่ค่อยเกิดการบิดเบี้ยวหรือแตกหัก ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรและอัตราผลผลิตในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ นอกจากนี้ อายุการใช้งานของเรือผลึกคาร์ไบด์ซิลิคอนมีอายุยืนยาวขึ้น ลดความถี่ในการเปลี่ยนใหม่และค่าใช้จ่ายในการบำรุงรักษา ทำให้เกิดประโยชน์ทางเศรษฐกิจที่มากขึ้นสำหรับธุรกิจพลังงานแสงอาทิตย์