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설명
실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 고온 열처리를 위해 퍼니스 튜브 내에서 웨이퍼를 적재하는 데 사용되는 내열성 부품입니다. 이 제품은 높은 내열성, 화학 부식 저항성 및 우수한 열 안정성을 갖추고 있어 확산, 산화, CVD, 어닐링 등의 다양한 열처리 공정에 널리 사용됩니다.
제품 사양
KCE® SiSiC/RBSiC 기술 데이터 시트
| 기술 파라미터 | UNIT | 값 |
| 탄화규소 함량 | % | 85 |
| 자유 규소 함량 | % | 15 |
| 20°C 체적 밀도 | g/cm³ | ≥3.02 |
| 개기공률 | 부피 % | 0 |
| 경도 HK | kg/mm² | 2600 |
| 휨강도 20°C | Mpa | 250 |
| 휨강도 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C (열팽창 계수) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| 열전도도 1000°C | W/m.k | 45 |
| 정적 20°C(탄성 계수) | GPa | 330 |
| 작동 온도 | °C | 1300 |
| 최대 사용 온도(공기 중) | °C | 1380 |
응용 분야
신에너지 태양광 분야에서 사파이어 세라믹 소재는 점차적으로 태양전지 제조 공정의 핵심 캐리어로 자리 잡고 있으며, 보트 캐리어, 보트 박스, 배관 부품 등 다양한 제품으로 활용되고 있고, 이에 따라 시장 수요도 지속적으로 증가하고 있습니다. 태양광 및 전자 분야의 신에너지 산업에서는 사파이어 소성 가마 가구가 확산로 및 소결로의 전달 부품으로 사용되며, 고온에서도 소재 특성이 안정적으로 유지될 수 있도록 보장합니다. 신에너지 자동차 분야에서는 리튬이온배터리의 양극 및 음극 소재와 전해질의 소결 및 열처리 공정에 사파이어 세라믹 소성 가마 가구가 적용되어 가마 생산성을 향상시키고 에너지 소비를 줄이는 효과가 있습니다.
실리콘 카바이드 결정 보트는 태양광 산업에 적용된다. 태양전지 제조 공정에서 실리콘 카바이드 결정 보트는 주로 실리콘 웨이퍼를 운반하는 데 사용되며, 가공 과정 중 안정성과 균일한 열처리를 보장한다. 실리콘 카바이드 결정 보트는 높은 열 전도율을 가지므로 실리콘 웨이퍼로부터 열을 효과적으로 전달하여 과열로 인한 손상을 방지할 수 있다. 또한 실리콘 카바이드 결정 보트의 화학적 안정성 덕분에 가공 중 실리콘 웨이퍼나 다른 물질과 화학 반응을 일으키지 않아 태양전지의 성능에 영향을 미치지 않는다.
장점
고온 저항성, 부식 저항성 및 우수한 열 전도성을 특징으로 하여 신에너지 태양광 및 신에너지 자동차 분야에서 핵심적인 역할을 한다.
기존의 석영 크리스탈 보트와 비교했을 때, 실리콘 카바이드 크리스탈 보트는 더 높은 열 안정성과 기계적 강도를 갖추고 있습니다. 고온 조건에서도 실리콘 카바이드 크리스탈 보트는 쉽게 변형되거나 파손되지 않아 태양전지 제조 공정의 안정성과 수율을 보장합니다. 또한 실리콘 카바이드 크리스탈 보트는 수명이 길어 교체 빈도와 유지보수 비용이 줄어들며, 태양광 기업에 더 큰 경제적 이점을 제공합니다.
