EN
Popis
Loďka pro wafer z karbidu křemíku je komponent odolný proti vysokým teplotám, používaný ve trubicích pecí pro ukládání waferů za účelem tepelného zpracování při vysokých teplotách. Díky své vysoké tepelné odolnosti, odolnosti proti chemické korozi a dobré tepelné stabilitě jsou široce využívány v různých procesech tepelného zpracování, jako je difuze, oxidace, CVD, žíhání atd.
Specifikace
KCE® SiSiC/RBSiC Technický datový list
| Technické parametry | Jednotka | Hodnota |
| Obsah karbidu křemíku | % | 85 |
| Obsah volného křemíku | % | 15 |
| Objemová hmotnost 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
| Otevřená pórovitost | Vol % | 0 |
| Tvrdost HK | kg/mm² | 2600 |
| Pevnost v ohybu 20°C | MPa | 250 |
| Pevnost v ohybu 1200°C | MPa | 280 |
| 20 – 1000°C (součinitel tepelné roztažnosti) | 10–6 K–1 | 4.5 |
| Tepelná vodivost 1000°C | W/m.k | 45 |
| Statická 20°C (modul pružnosti) | GPa | 330 |
| Pracovní teplota | °C | 1300 |
| Max. provozní teplota (vzduch) | °C | 1380 |
Použití
V oblasti fotovoltaiky nových energetických zdrojů se karbidokřemíkové keramické materiály postupně stávají klíčovými nosnými prvky ve výrobním procesu solárních článků, například nosné lodníky, boxy a potrubní tvarovky, a jejich tržní poptávka nadále roste. V nové energetické oblasti fotovoltaiky a elektroniky se karbidokřemíkové pece používají jako přenosové komponenty pro difúzní a sinterovací pece, čímž se zajistí stabilní vlastnosti materiálů za vysokých teplot. V oblasti vozidel na nové energie se karbidokřemíkové keramické pece používají v procesech sinterování a tepelného zpracování kladných a záporných elektrodových materiálů a elektrolytů lithiových baterií, čímž se zvyšuje výrobní kapacita pecí a snižuje energetická náročnost.
Lodičky z karbidu křemíku se používají v oblasti fotovoltaiky. V procesu výroby fotovoltaických článků slouží především k přepravě křemíkových waferů a zajišťují jejich stabilitu a rovnoměrné ohřívání během zpracování. Díky vysoké tepelné vodivosti lodiček z karbidu křemíku je možné efektivně odvádět teplo z křemíkových waferů, čímž se zabrání jejich poškození přehřátím. Kromě toho chemická stabilita lodiček z karbidu křemíku zajišťuje, že během zpracování nebudou reagovat s křemíkovými waferovými destičkami ani s jinými materiály, což by mohlo negativně ovlivnit výkon fotovoltaických článků.
Výhody
Díky svým vlastnostem, jako je odolnost proti vysokým teplotám, odolnost proti korozi a dobrá tepelná vodivost, hraje klíčovou roli v oblastech nové energie – fotovoltaiky a elektromobility.
Ve srovnání s tradičními křemennými tyglíky mají karbid křemičité tyglíky vyšší tepelnou stabilitu a mechanickou pevnost. Při vysokých teplotách se karbid křemičité tyglíky snadno neohýbají ani nepraskají, čímž zajišťují stabilitu a výtěžnost výroby fotovoltaických článků. Kromě toho mají tyglíky z karbidu křemičitého delší životnost, což snižuje frekvenci výměny a náklady na údržbu a přináší fotovoltaickým podnikům větší ekonomické benefity.
