Deskripsi
Perahu wafer silikon karbida adalah komponen tahan suhu tinggi yang digunakan dalam tabung tungku untuk memuat wafer guna proses perlakuan panas suhu tinggi. Karena ketahanannya terhadap suhu tinggi, korosi kimia, serta stabilitas termal yang baik, perahu ini banyak digunakan dalam berbagai proses perlakuan panas seperti difusi, oksidasi CVD, annealing, dll.
Spesifikasi
Lembar Data Teknis KCE® SiSiC/RBSiC
Parameter Teknis | Unit | Nilai |
Kandungan Karbida Silikon | % | 85 |
Kandungan Silikon Bebas | % | 15 |
Massa Jenis Curah 20°C | g/cm³ | ≥3.02 |
Porositas Terbuka | Vol % | 0 |
Kekerasan HK | kg/mm² | 2600 |
Kekuatan Lentur 20°C | MPa | 250 |
Kekuatan Lentur 1200°C | MPa | 280 |
20 – 1000°C (Koefisien Muai Termal) | 10–6 K–1 | 4.5 |
Konduktivitas Termal 1000°C | W/m.k | 45 |
Statis 20°C (Modulus Elastisitas) | GPa | 330 |
Suhu Operasi | °C | 1300 |
Suhu Kerja Maks (udara) | °C | 1380 |
Aplikasi
Dalam bidang energi baru fotovoltaik, bahan keramik silikon karbida secara bertahap menjadi media kunci dalam proses manufaktur sel surya, seperti perahu pembawa, kotak perahu, dan fitting pipa, serta permintaan pasarnya terus meningkat. Dalam industri energi baru fotovoltaik dan elektronika, perabot tungku silikon karbida digunakan sebagai komponen transmisi untuk tungku difusi dan tungku sintering, sehingga dapat menjamin stabilitas sifat material pada suhu tinggi. Dalam bidang kendaraan energi baru, perabot tungku keramik silikon karbida digunakan dalam proses sintering dan perlakuan panas material elektroda positif dan negatif serta elektrolit baterai ion litium, yang meningkatkan kapasitas produksi tungku sekaligus menurunkan konsumsi energi.
Perahu kristal silikon karbida digunakan dalam industri fotovoltaik. Dalam proses pembuatan sel fotovoltaik, perahu kristal silikon karbida terutama digunakan untuk membawa wafer silikon, memastikan stabilitas dan pemanasan yang seragam selama proses pengolahan. Karena konduktivitas termal tinggi dari perahu kristal silikon karbida, perangkat ini dapat secara efektif menghantarkan panas dari wafer silikon, mencegah kerusakan akibat terlalu panas. Selain itu, stabilitas kimia dari perahu kristal silikon karbida juga dapat memastikan bahwa perangkat tersebut tidak mengalami reaksi kimia dengan wafer silikon atau bahan lain selama proses pengolahan, sehingga tidak memengaruhi kinerja sel fotovoltaik.
Keunggulan
Dengan karakteristiknya yang tahan suhu tinggi, tahan korosi, dan konduktivitas termal yang baik, perangkat ini memainkan peran utama dalam bidang fotovoltaik energi baru dan kendaraan energi baru.
Dibandingkan dengan perahu kristal kuarsa tradisional, perahu kristal silikon karbida memiliki stabilitas termal dan kekuatan mekanis yang lebih tinggi. Dalam kondisi suhu tinggi, perahu kristal silikon karbida tidak mudah berubah bentuk atau patah, sehingga menjamin stabilitas dan hasil produksi dalam pembuatan sel fotovoltaik. Selain itu, masa pakai perahu kristal silikon karbida lebih panjang, mengurangi frekuensi penggantian dan biaya pemeliharaan, memberikan manfaat ekonomi yang lebih besar bagi perusahaan fotovoltaik.