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説明
炭化ケイ素ウエハボートは、高温処理のための炉管内でウエハを保持するために使用される耐高温部品です。高い耐熱性、化学的腐食抵抗性および優れた熱安定性を持つため、拡散、酸化、CVD、アニールなど、さまざまな熱処理工程で広く使用されています。
仕様
KCE® SiSiC/RBSiC 技術データシート
| 技術仕様 | ユニット | 価値 |
| 炭化ケイ素含有量 | % | 85 |
| 遊離ケイ素含有量 | % | 15 |
| 体積密度 20°C | g/cm3 | ≥3.02 |
| 開気孔率 | 体積% | 0 |
| 硬度 HK | kg/mm² | 2600 |
| 曲げ強度 20°C | Mpa | 250 |
| 曲げ強度 1200°C | Mpa | 280 |
| 20 – 1000°C（熱膨張係数） | 10–6 K–1 | 4.5 |
| 熱伝導率 1000°C | W/m・k | 45 |
| 静的 20°C（弾性係数） | 平均 | 330 |
| 動作温度 | °C | 1300 |
| 最高使用温度（空気中） | °C | 1380 |
応用
新エネルギー分野の太陽光発電において、炭化ケイ素セラミック材料は次第に太陽電池製造プロセス（例えば、舟状キャリア、舟用ボックス、管継手など）における重要な素材となっており、市場需要は継続的に増加しています。太陽光発電および電子分野における新エネルギー産業では、炭化ケイ素焼結家具は拡散炉および焼結炉の搬送コンポーネントとして使用され、高温下での材料特性の安定性を確保しています。新エネルギー自動車分野においては、炭化ケイ素セラミック焼結家具がリチウムイオン電池の正極・負極材料および電解質の焼結および熱処理工程に使用されており、焼結炉の生産能力向上とエネルギー消費の削減に貢献しています。
炭化ケイ素結晶ボートは、太陽光発電産業に応用されています。太陽電池の製造プロセスにおいて、炭化ケイ素結晶ボートは主にシリコンウエハーを保持するために使用され、処理中の安定性と均一な加熱を確保します。炭化ケイ素結晶ボートは高い熱伝導性を持つため、シリコンウエハーからの熱を効果的に放散し、過熱による損傷を防ぐことができます。さらに、炭化ケイ素結晶ボートの化学的安定性により、処理中にシリコンウエハーや他の材料と化学反応を起こすことがなく、太陽電池の性能に悪影響を与えることを防ぎます。
利点
耐高温性、耐腐食性および良好な熱伝導性という特性により、新エネルギー分野の太陽光発電や新エネルギー車両において重要な役割を果たしています。
従来の石英結晶ボートと比較して、炭化ケイ素（SiC）結晶ボートはより高い熱安定性と機械的強度を有しています。高温条件下でも、炭化ケイ素結晶ボートは変形や破損が生じにくく、太陽電池製造の安定性と歩留まりを確保できます。さらに、炭化ケイ素結晶ボートの使用寿命が長いため、交換頻度やメンテナンスコストを削減でき、太陽光発電企業にとってより大きな経済的利益をもたらします。
