Деякі колеги з НДД дискутують про те, як оптимізувати дизайн керамічного кейса для пластин

У напівпровідниковій промисловості карбід кремнію реакційного спікання може використовуватися для виготовлення компонентів, таких як шліфувальні диски, присмоктувачі, човники для пластин і пристосування для напівпровідникового обладнання. Він відрізняється високою точністю, високою чистотою та сильною стійкістю до хімічної та іонної корозії. У виробничому процесі напівпровідників, таких як чіпи, використовуються касети для пластин (човники для пластин), виготовлені з карбіду кремнію реакційного спікання. Вони надійно утримують пластина і забезпечують стабільність розмірів під час складних процесів, таких як висока температура, що підвищує точність виготовлення чіпів. На фото деякі колеги з НДДК обговорюють, як оптимізувати дизайн човника для пластин.