Кейбір ғылыми-зерттеу бөлімінің әріптестері пластинкалық қайықтың жобасын тиімді ету жолдарын талқылауда

Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде реагенттік кремний карбиді жартылай өткізгіш құрылғылардың бөлшектерін, мысалы, дәл өңдеу дискілерін, сорғыштарды, пластинаны тасымалдаушылар мен ұстағыштарды шығару үшін қолданылады. Ол жоғары дәлдікке, жоғары тазалыққа және химиялық пен иондық коррозияға тұрақтылыққа ие. Чиптер сияқты жартылай өткізгіштерді шығару процесстерінде реагенттік кремний карбидінен жасалған пластинаны тасымалдаушылар (пластина тасымалдаушылар) қажет. Олар пластиналарды берік ұстап тұрады және күрделі процесстер кезінде (мысалы, жоғары температурада) өлшемді тұрақтылықты сақтайды, соның арқасында чиптерді шығару дәлдігі артады. Суретте бірнеше НИИ қызметкерлері пластинаны тасымалдаушының конструкциясын тиімді ету жолдарын талқылауда.