일부 R&D 동료들이 웨이퍼 보트 설계를 최적화하는 방법에 대해 논의하고 있습니다.
Time : 2025-09-08
반도체 산업에서 반응소결 탄화규소는 그라인딩 디스크, 흡착 컵, 웨이퍼 보트 및 반도체 장비용 고정장치 등의 부품 제작에 사용될 수 있습니다. 이는 높은 정밀도, 높은 순도, 우수한 내화학식 및 이온 부식 저항성을 특징으로 합니다. 칩 제조와 같은 반도체 제조 공정에서는 반응소결 탄화규소로 만들어진 웨이퍼 캐리어(웨이퍼 보트)가 필요합니다. 이는 웨이퍼를 단단히 고정하고 고온과 같은 복잡한 공정 중에도 치수 안정성을 유지함으로써 칩 제조 정밀도를 향상시킵니다. 사진은 웨이퍼 보트 설계를 최적화하는 방법에 대해 논의 중인 연구개발 부서 동료들의 모습입니다.