あるR&Dの同僚がウエハーボートの設計の最適化方法について議論しています
Time : 2025-09-08
半導体業界において、反応焼結炭化ケイ素は研削ディスク、吸盤、ウェハーボート、および半導体製造装置の治具などの部品製造に使用できます。これは高精度、高純度、そして優れた化学的・イオン腐食耐性を備えています。チップなどの半導体製造プロセスにおいては、反応焼結炭化ケイ素で作られたウェハーキャリア(ウェハーボート)が必要です。これにより、ウェハーを確実に保持し、高温などの複雑な工程中でも寸法安定性を維持することが可能となり、チップ製造の精度を高めます。写真には、いくつかの研究開発部門の同僚がウェハーボートの設計をどのように最適化するかについて議論している様子が写っています。