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製品

炭化ケイ素(SiC)ウエハーボート用サポート/ブラケット/治具

仕様

KCE® SiSiC/RBSiC 技術データシート

技術仕様 ユニット 価値
炭化ケイ素含有量 % 85
遊離ケイ素含有量 % 15
体積密度 20°C g/cm3 ≥3.02
開気孔率 体積% 0
硬度 HK kg/mm² 2600
曲げ強度 20°C Mpa 250
曲げ強度 1200°C Mpa 280
20 – 1000°C(熱膨張係数) 10–6 K–1 4.5
熱伝導率 1000°C W/m・k 45
静的 20°C(弾性係数) 平均 330
動作温度 °C 1300
最高使用温度(空気中) °C 1380

応用

太陽電池拡散プロセス装置の主要な荷重支持部品に適しています。

利点

反応焼結炭化ケイ素製ボートサポート/ブラケット/治具は構造が安定しており、材料の熱的安定性が良好で、高温使用時にも変形がなく、長寿命です。これにより、太陽電池の高負荷条件下での支持部品の損耗問題を効果的に解決します。

光伏産業で一般的に使用される石英製の舟支持体および舟は、製造プロセスおよび石英材料の特性により、使用寿命が3〜6ヶ月程度です。これに対して、炭化ケイ素製の舟支持体および舟は石英に代わる素材として、5年以上の使用寿命を持つことができ、メンテナンスや停止による使用コスト、設備稼働損失を大幅に削減できます。

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